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주사전자현미경으로 샘플을 관찰하기 위해 보통 코팅을 합니다.
일반적으로 박막을 코팅시에는 charging 현상이 덜 한데,
분말시료는 charging 현상이 심해 샘플을 관찰하기 힘들때가 있습니다.
현재 사용하고 있는 코팅기는 pt을 타켓으로 하는 스퍼터링 코팅기입니다.
charging 현상이 생기는 경우 틸트를 이용하면 감소한다고 하고,
아니면 오스뮴 코팅으로 하면 효과가 있다고 합니다.
하지만, 이런 방법말고 스퍼터링 코팅기로도 charging 현상을 줄일 수
있는 방법이 있는지 알고싶습니다.
- SEM
- 전처리
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
김형근님의 답변
2012-02-01- 0
반갑습니다.
일단, 분말을 stub위에 뿌리실때 보통 2가지 재료가 있는데, 일반적으로 카본 스티커 위에 직접 뿌리는 방법과 다시 그위에 유리기판을 깔고 분말을 흩뿌리는 방법(또는 알콜에 넣어 스포이드를 사용해 떨어뜨리는 방법)이 있는데, 이모두의 경우에 주의 하실 점은 반드시 골드코팅후 카본 페이스트로 코팅된 분말의 한쪽 부분과 금속 stub의 한쪽 부분을 연결시켜서 서로 도체로 연결해주셔야 합니다. 즉, 분말과 금속stubd을 페인트 하듯이 선으로 연결하면 됩니다.
이렇게 했는데도 charging이 된다면, 일단 SEM전압을 낮추어 보세요.
아마 20kV로 쓰고 계실것 같은데, 10kV나 5kV로 낮추어 보세요. 물론 밝기나 이미지의 질은 좀 떨어지나 어느정도 charging은 줄일 수 있을것입니다.
또하나는 apprature를 조절하는것인데, 이것으로 beam의 양을 조절하여 좀 낮추어 보세요.
이도저도 안된다면, 샘플을 SEM에서 뺀후 다시 골드 코팅을 그위에 해서 그대로 사용해 보시면 한결 좋아 질것입니다. 물론 이때 stub을 약간 기울여 고정 시킬 수 있으면 더 효과적일 것입니다.
만약 안된다면, 다시 질문 하시면 좀더 다른 방법을 강구하여 알려 드리겠습니다.
감사합니다.
-------------------------------------질문-------------------------------------
주사전자현미경으로 샘플을 관찰하기 위해 보통 코팅을 합니다.
일반적으로 박막을 코팅시에는 charging 현상이 덜 한데,
분말시료는 charging 현상이 심해 샘플을 관찰하기 힘들때가 있습니다.
현재 사용하고 있는 코팅기는 pt을 타켓으로 하는 스퍼터링 코팅기입니다.
charging 현상이 생기는 경우 틸트를 이용하면 감소한다고 하고,
아니면 오스뮴 코팅으로 하면 효과가 있다고 합니다.
하지만, 이런 방법말고 스퍼터링 코팅기로도 charging 현상을 줄일 수
있는 방법이 있는지 알고싶습니다.