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ALD (atomic layer deposition) 를 조금 기초부터 체계적으로 공부하고 싶은데요
-기초적인 내용이나 원리는 다 알고 있지만 대략만 알고 있어서 다시 배우고 싶습니다.-
- ALD
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
강광철님의 답변
2012-02-03- 2
문헌참고하세요.
논문의 참고문헌들을 찾아보시면 도움이 되실것덧 같네요.
http://www.ece.tufts.edu/~hopwood/lab/PEALD.htm
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ALD (atomic layer deposition) 를 조금 기초부터 체계적으로 공부하고 싶은데요
-기초적인 내용이나 원리는 다 알고 있지만 대략만 알고 있어서 다시 배우고 싶습니다.-
그리고 더 나아가 최근 연구 동향이나 태크닉적인 면을 공부하고 싶습니다.또 PEALD 에 대해 자세히 공부하고 싶은데요이러한 자료를 구하는데 조금 힘들어서요 혹시 추천할만한 자료 있을까요??? -
답변
윤성민님의 답변
2012-02-11- 2
해당 기술을 정리한 Review 페이퍼를 보시는 것이 좋을 것 같습니다.
ALD와 PEALD 관련 리뷰 페이퍼 두 편을 첨부합니다.
그리고 코센자료방에 있는 관련 자료를 검색해 보시는 것도 좋을 것 같습니다.
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ALD (atomic layer deposition) 를 조금 기초부터 체계적으로 공부하고 싶은데요
-기초적인 내용이나 원리는 다 알고 있지만 대략만 알고 있어서 다시 배우고 싶습니다.-
그리고 더 나아가 최근 연구 동향이나 태크닉적인 면을 공부하고 싶습니다.또 PEALD 에 대해 자세히 공부하고 싶은데요이러한 자료를 구하는데 조금 힘들어서요 혹시 추천할만한 자료 있을까요???
좋은 자료 주셔서 감사합니다.