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제가 Au/SiO2/Au (Au 사이에 SiO2 가 gap 10um) 의 기판을 사용하고
그 위에 organic material 을 올려서 전기적 특성을 측정하는데
제가 가지고 있는 여러 물질의 전기적 특성이 다 안나옵니다.
(다른 기판에서는 문제없이 잘 나옵니다.)
기판의 문제인것 같은데, Au 가 200nm 로 충분히 올라가 있는데요.
혹시 어떤 문제가 생기면 금속기판의 전기적 특성이 잘 안나올 수 있을까요?
(기판의 보관은 PR coating 된 상태로 보관하고, 사용할때 PR 을 지우고 사용합니다.)
이러한 문제가 생겼다면, 어떤 처리를 좀 해보면 좋은지 의견 부탁드립니다.
구조 디자인 관련 내용을 파일 첨부 합니다.
확인 후 comment 부탁드립니다.
- 금속 기판
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
김우영님의 답변
2012-02-20- 0
Au/SiO2/Au 기판이라는것도 사실.. 잘 이해가 안되요. Au 증착한 기판 위에 sio2 를 다시 증착하고 그 위에 또 Au를 증착했다는건가요?
전기적인 특성은 어디와 어디사이에 전압, 전류를 인가했을때인가요?
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제가 Au/SiO2/Au (Au 사이에 SiO2 가 gap 10um) 의 기판을 사용하고
그 위에 organic material 을 올려서 전기적 특성을 측정하는데
제가 가지고 있는 여러 물질의 전기적 특성이 다 안나옵니다.
(다른 기판에서는 문제없이 잘 나옵니다.)
기판의 문제인것 같은데, Au 가 200nm 로 충분히 올라가 있는데요.
혹시 어떤 문제가 생기면 금속기판의 전기적 특성이 잘 안나올 수 있을까요?
(기판의 보관은 PR coating 된 상태로 보관하고, 사용할때 PR 을 지우고 사용합니다.)
이러한 문제가 생겼다면, 어떤 처리를 좀 해보면 좋은지 의견 부탁드립니다.
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답변
김우영님의 답변
2012-02-20- 0
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그냥 저항인지, 트랜지스터인지는 모르겠지만,
금으로 전극을 썼을때만 아무것도 안나온다구요?
혹시...Au 위에 유기 나오선을 올리기 전에 HF 에 살짝 담궜다가 씻은 후에
다시 나노선을 올려보세요. 문맥상, 아무런 전기적 특성이 안나온다는게 전류가 안흐른다는 뜻인가요?
Au위에 시간이 좀 지나면 oxide 같은게 생기더라구요. (저의 경우에는.. 시간이 좀 지난다음에 Au증착된 기판을 Au etchant 에 담갔을때 에칭이 전혀 안되기도 하니까요.)
물리적으로 떨어지지 않는다면, 나노선의 컨택쪽이 문제가 있을 것 같습니다.
이상..저의 추측이었습니다.
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제가 Au/SiO2/Au (Au 사이에 SiO2 가 gap 10um) 의 기판을 사용하고
그 위에 organic material 을 올려서 전기적 특성을 측정하는데
제가 가지고 있는 여러 물질의 전기적 특성이 다 안나옵니다.
(다른 기판에서는 문제없이 잘 나옵니다.)
기판의 문제인것 같은데, Au 가 200nm 로 충분히 올라가 있는데요.
혹시 어떤 문제가 생기면 금속기판의 전기적 특성이 잘 안나올 수 있을까요?
(기판의 보관은 PR coating 된 상태로 보관하고, 사용할때 PR 을 지우고 사용합니다.)
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답변
김형근님의 답변
2012-02-21- 0
안녕 하세요
혹시 Au와 Si사이의 SiO2의 breakdown voltage를 측정하는것인가요?
도면을 보니 Au에 전압을 가하는것이고 전기적 특성을 측정한다하여 제 추측상 전기 절연성을 측정하는것인지... 그럴경우 ground는 아마 Si가 될것 같은데요.
Breakdown voltage경우엔 아마 최대 전압을 셋팅하셨을텐데, 측정이 안된다니 두가지 경우가 떠오르네요.
첫째는 정말 절연이 잘되어서 최대 가압전압으로는 전류를 통하지 못하는경우와 (이경우는 전압을 높이는 방법을 쓰면 될것 같습니다.)
둘째는 코팅간 또는 코팅과 금속기판의 접촉불량을 의심할 수 있을것 같습니다.
이상 제 소견이였습니다.
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제가 Au/SiO2/Au (Au 사이에 SiO2 가 gap 10um) 의 기판을 사용하고
그 위에 organic material 을 올려서 전기적 특성을 측정하는데
제가 가지고 있는 여러 물질의 전기적 특성이 다 안나옵니다.
(다른 기판에서는 문제없이 잘 나옵니다.)
기판의 문제인것 같은데, Au 가 200nm 로 충분히 올라가 있는데요.
혹시 어떤 문제가 생기면 금속기판의 전기적 특성이 잘 안나올 수 있을까요?
(기판의 보관은 PR coating 된 상태로 보관하고, 사용할때 PR 을 지우고 사용합니다.)
이러한 문제가 생겼다면, 어떤 처리를 좀 해보면 좋은지 의견 부탁드립니다.
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윤성민님의 답변
2012-02-24- 0
소자 구조를 볼 때 사실 유기 나노선의 전기적 특성이 잘 나올 수 있는 구조는 아닌 것 같습니다.
의견의 핵심은 아래 semigumi님께서 올려주신 의견과 비슷한데,
나노선과 Au 전극 사이의 컨택에 문제가 있을 가능성이 가장 큽니다.
다만 기판의 보관은 PR 코팅 상태라고 하셨으니,
(1) 과도한 산화물이 전극 상에 있을 가능성 보다는 오히려 PR 스트립시에 PR이 잔류하여 나노선과 전극의 컨택을 방해하고 있을 가능성이 있습니다.
(2) 또는 기본적으로 물리적인 접촉이 안 좋을 가능성도 있습니다. 따라서 경우에 따라서는 나노선을 뿌려 놓으신 후, 질소 건으로 물리적 접촉이 좋지 않은 나노선을 모두 날려내고, 그 후에도 잘 접촉해 있는 나노선 구조 중심으로 측정을 진행해 보시는 것도 원인은 아는데 도움이 되십니다.
(3) 이 구조에서 확실하게 전기적인 특성을 보기 위해서는 올라간 나노선과 Au 전극 위에 추가로 전극을 그릴 수 있습니다. 방법은 FIB 등의 장비를 이용하여 Pt 등을 원하는 위치에 와이어 형태로 증착할 수 있습니다.
결국 나노선과 전극 사이에 물리적인 공극 또는 과도한 쇼트키 장벽(계면에 기인) 등으로 큰 접촉 저항이 발생하는 경우, I-V 특성을 얻을 수가 없을 것 같습니다.
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제가 Au/SiO2/Au (Au 사이에 SiO2 가 gap 10um) 의 기판을 사용하고
그 위에 organic material 을 올려서 전기적 특성을 측정하는데
제가 가지고 있는 여러 물질의 전기적 특성이 다 안나옵니다.
(다른 기판에서는 문제없이 잘 나옵니다.)
기판의 문제인것 같은데, Au 가 200nm 로 충분히 올라가 있는데요.
혹시 어떤 문제가 생기면 금속기판의 전기적 특성이 잘 안나올 수 있을까요?
(기판의 보관은 PR coating 된 상태로 보관하고, 사용할때 PR 을 지우고 사용합니다.)
이러한 문제가 생겼다면, 어떤 처리를 좀 해보면 좋은지 의견 부탁드립니다.
구조 디자인 관련 내용을 파일 첨부 합니다.
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전극 디자인 파일 첨부했습니다. 참고 후 comment 부탁드립니다.