지식나눔

도핑용 furnace 관련문의

마땅히 어디에 문의 드릴지 몰라 이곳에 남김니다. BBr3를 이용한 붕소 도핑을 할 수 있는 furnace 장비를 찾고 있습니다. 보론 도핑은 높은 온도에서 진행 되는 만큼 장비 제작기술이 많이 필요하다 알고 있습니다. 아시는 장비 있으시면 추천 부탁드립니다.
  • 태양전지
  • 붕소
  • 퍼니스
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
  • 답변

    이월선님의 답변

    안녕 하십니까. Boron Doping Furnace를 찾고 계셨군요. 저는 국내에서 반도체, 태양광, LED용 Furnace를 제조일을 하고 있는 이월선이라고 합니다. 제가 최근 납품 및 Process test를 해드린 곳은 대전의 모 기술원이 있구요, 그 밖에도, 4Site가 있습니다. 공정 결과는 60ohm target 25Wafer 진행 공정, Monitor Wafer 3장 (Front, Center, Rear) 사용하여 Uni 가 5% 내, Wafer to Wafer 3%이내, Batch to Batch 3%이내 까지 공정을 잡아 드렸습니다. 포클에 비해 장비 및 공정이 많이 까다로운건 사실입니다. 문의 사항 있으시면 연락 주세요. HP : 010-3016-1096입니다.
    안녕 하십니까. Boron Doping Furnace를 찾고 계셨군요. 저는 국내에서 반도체, 태양광, LED용 Furnace를 제조일을 하고 있는 이월선이라고 합니다. 제가 최근 납품 및 Process test를 해드린 곳은 대전의 모 기술원이 있구요, 그 밖에도, 4Site가 있습니다. 공정 결과는 60ohm target 25Wafer 진행 공정, Monitor Wafer 3장 (Front, Center, Rear) 사용하여 Uni 가 5% 내, Wafer to Wafer 3%이내, Batch to Batch 3%이내 까지 공정을 잡아 드렸습니다. 포클에 비해 장비 및 공정이 많이 까다로운건 사실입니다. 문의 사항 있으시면 연락 주세요. HP : 010-3016-1096입니다.
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