2013-06-01
org.kosen.entty.User@1cd29621
최인호(pkhcih)
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기존 MgO 증착 사용하던 e beam을 Al 증착을 시도
하였는데 빔이 정상적으로 작동이 되지 않고 증착이
되지않습니다.
같은 e beam 장치에서 pallet변경시 ...Al증착하기 위해서는 mgO 증착과는 기구적으로 개조가 필요한지? 전문가
이시분의 조언 부탁드립니다.
- 증착
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2013-06-03- 0
첨부한 조견표를 참고하시어 장비 점검이 필요할 것 같습니다.