2013-12-06
org.kosen.entty.User@5b4485e4
최인호(pkhcih)
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Sputter에 많이 검토되는 izo pallet 조성성분 그대로 공법만 달리하여 e beam을 사용하여 검토 해볼려고하는데 ,,,, 조성성분을 똑같이 하면 될까요?
- pallet
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답변 1
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답변
신동협님의 답변
2013-12-11- 0
sputter의 zno는 산소분압 및 공정파워 조건에 따라서 타깃 조성과 박막 조성이 달라집니다.
물론 e beam도 공정조건에 따라 팰랫 조성과 달라집니다. 화합물일 경우는 각 원소의 vapor pressure와 bonding energy에 따라서 박막의 조성에 크게 영향을 줍니다.