2014-02-27
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장혜진(pyqses)
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MIM capacitor가 뭔지 잘 모르는데요. 혹시 정보를 얻을 수 있는 책이 있으면 추천해주시면 감사하겠습니다.
MIM capacitor를 이용해 dielectric properties를 측정하는 방법은 무엇인가요?
MIM capacitor를 이용해 dielectric properties를 측정하는 방법은 무엇인가요?
- dielectric properties
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
안길홍님의 답변
2014-02-27- 0
일반적인 반도체는 단층구조로 수평을 이루는 것이 주이나, MIM은 다층 구조로 수직구조로 만들 수 있는 장점을 가지고 있습니다. 따라서 반도체의 layout의 면적을 적게할 수 있으며, 전력소모가 적다는 가장 큰 장점을 가진 차세대 기술에 해당한다고 할 수 있습니다.