2014-03-17
org.kosen.entty.User@5864a7e0
김백현(redkite1)
- 2
FT-IR을 이용하여 박막의 적외선 투과율을 측정하려고 하는 대학원생입니다.
제가 증착하는 박막은 Sol-gel 법을 사용한 TiO2와 SiOx 계열의 산화물 박막인데 기판위에 증착한 후 대기중에서 열처리를 해서 결정화를 시켜야 합니다.
이러한 산화물 박막의 두께에 따른 적외선 투과율을 측정하기 위하여 중적외선 정도까지 투과 가능하면서 열처리에 큰 영향이 없는 기판이 혹시 있는지 아니면 산화물 박막의 투과율 측정을 위한 다른 방법이 있는지 궁금합니다.
선배님들의 많은 조언 부탁드립니다.
제가 증착하는 박막은 Sol-gel 법을 사용한 TiO2와 SiOx 계열의 산화물 박막인데 기판위에 증착한 후 대기중에서 열처리를 해서 결정화를 시켜야 합니다.
이러한 산화물 박막의 두께에 따른 적외선 투과율을 측정하기 위하여 중적외선 정도까지 투과 가능하면서 열처리에 큰 영향이 없는 기판이 혹시 있는지 아니면 산화물 박막의 투과율 측정을 위한 다른 방법이 있는지 궁금합니다.
선배님들의 많은 조언 부탁드립니다.
- 적외선
- FT-IR
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 2
-
답변
신동협님의 답변
2014-03-17- 0
기판으로 유리나 쿼츠를 사용하실 수 있다면
열처리 온도가 500 도 이상도 가능합니다.
그리고 기판이 투명하니까 투과율에 영향을
주지 않습니다~ -
답변
안길홍님의 답변
2014-03-18- 0
Sol- Gel법에 의한 TiO2/SiO2를 대기중에 열처리하여 증착한다고 하면 열처리의 온도 및 증착 후의 부착력이 얼마나 되는지가 중요한 과제가 되겠습니다.
Sol-Gel에 의한 TiO2/SiO2의 Anatase 결정화는 200℃(12시간)에서 시작되어 400℃(2시간)의 열처리에서 최적화가 되며, 600℃이상에서 Rutile type의 결정이 나타나고 있습니다..
증착하여 FT-IR check만 한다면 강화유리(T:2mm )에 증착하여 check함이 적절할 것 같습니다.
그러나 문제는 단순히 sol-gel법에 의한 결과물을 증착하여서는 유리면과의 접착이 제대로 되지 않는 다는 것입니다.
이에 대한 한가지 예를 말씀드리겠습니다.
sol-gel에 의하여 만들어진 내용물을 24시간 방치하여 두면 아래쪽으로 침전물이 발생하는데 위의 상등액은 제거하여 내고 잔류물을 400도x2시간 열처리하여 분말상태를 먼저 얻는 방법을 선택합니다. 이 분말 상태를 DMF용제로 희석하여 준비하여 두고,
PDMS(Poly- dimethyl siloxane)수지를 구하여 이를 DMF용제를 30%(by wt.)혼합하여 희석하여 tip size 0.5mm air spray gun으로써 유리판위에 5μm로 코팅한후 70도로 30분 가열하고 난뒤 다시 PDMS로 5μm 코팅하고 70도로 30분 가열하면 점착성이 있는 tacky상태로 됩니다. 그위에 준비하여둔 TiO2/SiO2분말 용액을 spray 한 후 200도로 1시간 열처리 하는 방법입니다.
PDMS와 TiO2/SiO2분말을 같이 분산하지 않는 이유는 지금 하고자 하는 목적이 heterogeneous coating을 하고자 하는 것 과 같은데 촉매가 수지와 혼합되어 버리면 촉매의 표면이 수지에 덮혀버려서 기능을 상실하게 되기 때문 입니다.
이러한 방법을 사용하게 되면 첨부 자료와 같은 "투명 Polyimide film"에도 코팅이 가능하여서 다용도로 사용할 수 있습니다(투명film을 산소가 있는 가열로에서 열처리하면 황변이 일어나기 때문에 질소가스를 주입하여 무산소 열처리함이 필요합니다).