지식나눔

진공장비 배기 문제

진공 증착기 배기 쪽에서 오일이 배출되는데, 아무래도 로터리 펌프에서 역류되는 것이겠죠?
아무래도 진공 장비에서 종종 있는 문제 같은데,
혹시 이 역류되는 오일을 필터링할 수 있는 필터나 장치가 있을까요?
  • 진공
  • 배기
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변! 
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 5
  • 답변

    이배훈님의 답변

    첨부파일

     오일 mist가 대부분의 vacuum pump의 문제 인것 같구요
    보통 구매하신 펌프회사에서 배기쪽에서 연결하는 filter를 판매합니다.


    Vacuum Pump Filters (Oil Mist and Charcoal Traps)

    Vacuum Pump Exhaust Filters

     오일 mist가 대부분의 vacuum pump의 문제 인것 같구요
    보통 구매하신 펌프회사에서 배기쪽에서 연결하는 filter를 판매합니다.


    Vacuum Pump Filters (Oil Mist and Charcoal Traps)

    Vacuum Pump Exhaust Filters

    ????????????????????????????????! ????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????????????????????????????????????????????????.???????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????, ????????????????????????????????? ????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????

    이배훈(lbh217) 2014-07-16

    ????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????? ???????????????? ?????????????????????????????????????????????????. ?????????????????? ???????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????? ???????????????? ????????????????????????????????????????????????.
    ???????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????? ????????????????? ???????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????? ????????????????????????
    ????????????????????????????????? ???????????????????????????????? ????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????? ???????????????? ?????????????????????????????????????????????????.

  • 답변

    이상호님의 답변

    제가 학교에 있를 때 사용한 home made 장비는 oil trap의 효과를 높이기 위해서 filter를 액체질소를 사용하여 냉각하기도 햇습니다.
    제가 학교에 있를 때 사용한 home made 장비는 oil trap의 효과를 높이기 위해서 filter를 액체질소를 사용하여 냉각하기도 햇습니다.
    이상호(RGB3) 2014-04-19

    ????????????????????????????????? ????????????????????????????????? ???????????????? ???????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????? tip???????????????? ??????????????????????????????????????????. ???????????????????????? ????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????? ????????????????? ???????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????? ???????????????? ?????????????????????????????????, ???????????????????????????????? ???????????????????????????????????????? ???????????????????????????????? home made ???????????????????????????????? ????????????????????????????????? ???????????????????????? ????????????????????????? ????????????????????????????????????????? trap ????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????????????????. ???????????????????????????????? ????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????????? ????????????????? ????????????????????????????????????????????????, ????????????????????????????????? ???????????????? ???????????????????????? ????????????????????????? ???????????????????????????????????????? ????????????????????????????????? ??????????????????.

    ????????????????????????????????????????????????????????????????? diffusion pump???????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? RGB3????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????.

    ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

  • 답변

    신동협님의 답변

    간혹 실험실에서 장비를 24시간 운영하는 경우가 있습니다.

    standby 상태를 계속 유지하다 보면 오일 오염의 가능성이 커집니다.

    그러므로 가급적 사용하지 않는 시간이 길 경우 전원을 끄는 것도

    상기 문제에 도움이 될 수 있을 것으로 생각됩니다.
    간혹 실험실에서 장비를 24시간 운영하는 경우가 있습니다.

    standby 상태를 계속 유지하다 보면 오일 오염의 가능성이 커집니다.

    그러므로 가급적 사용하지 않는 시간이 길 경우 전원을 끄는 것도

    상기 문제에 도움이 될 수 있을 것으로 생각됩니다.
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    고영민님의 답변

    진공장비에는 항상 펌프를 사용하게 되는데, 밸브를 잠그지 않은 채 펌프를 off 시키면 펌프와 장비 사이에 진공이 잡혀있어서 오일이 역류하기 쉬운거죠.
    또한 밸브를 잠그고 펌프를 잘 꺼도 펌프 자체에 펌프라인을 자동 vent 시키는 장치가 없으면 펌프의 작동효과가 저하되기도 하죠. 오래된 펌프같은 경우는 잘 안달려 있는 경우도 있으니, 펌프회사에 연락해서 자동 vent 장치를 달아 주시면 좋으실 것 같네요.
    진공장비에는 항상 펌프를 사용하게 되는데, 밸브를 잠그지 않은 채 펌프를 off 시키면 펌프와 장비 사이에 진공이 잡혀있어서 오일이 역류하기 쉬운거죠.
    또한 밸브를 잠그고 펌프를 잘 꺼도 펌프 자체에 펌프라인을 자동 vent 시키는 장치가 없으면 펌프의 작동효과가 저하되기도 하죠. 오래된 펌프같은 경우는 잘 안달려 있는 경우도 있으니, 펌프회사에 연락해서 자동 vent 장치를 달아 주시면 좋으실 것 같네요.
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    서병일님의 답변

    잔공장치의 순도를 위해 진공펌프와 진공장치 사이에 액체 유리관 trap 를 달고 이 Trap를
    액체 질소를 채운 용기에 클램프로 잡아서 작업을 해 보세요 역류가 되더라도 이 trap에서 급냉되어 잡히게 됩니다.
    살제로 그렇게 실험합니다.
    잔공장치의 순도를 위해 진공펌프와 진공장치 사이에 액체 유리관 trap 를 달고 이 Trap를
    액체 질소를 채운 용기에 클램프로 잡아서 작업을 해 보세요 역류가 되더라도 이 trap에서 급냉되어 잡히게 됩니다.
    살제로 그렇게 실험합니다.
    등록된 댓글이 없습니다.