2014-04-14
org.kosen.entty.User@14a123e8
박보혜(bakbohye)
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안녕하세요
XRD PDF와 박막을 증착한 후 XRD 측정한 그래프만 있습니다.
여기서 픽이 나타나면 박막이 어느정도 증착이 된것을 알수있지만
그 정확한 두께를 강도를 이용해 구하려면 어떻게 해야하는지 질문드립니다.
좋은하루되세요!
XRD PDF와 박막을 증착한 후 XRD 측정한 그래프만 있습니다.
여기서 픽이 나타나면 박막이 어느정도 증착이 된것을 알수있지만
그 정확한 두께를 강도를 이용해 구하려면 어떻게 해야하는지 질문드립니다.
좋은하루되세요!
- 박막
- XRD
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답변 4
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답변
고영민님의 답변
2014-04-15- 0
첨부파일
XRD 강도를 통해서 박막 두께를 측정할 순 없습니다.
동일한 X-ray 파워로 두께만 다른 동일한 박막을 측정하면 두꺼운 박막인 강도가 크게 나옵니다. 하지만, 정확한 두께를 알 순 없습니다.
XRR(X-ray Reflectometery) 장비를 이용하여 측정한 데이터를 시뮬레이션하면 막의 두께를 구할 수 있다고 들었습니다. X-ray를 통해서 두께를 알고 싶으시다면 XRR을 이용해보시는 것이 좋을 것 같습니다.
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답변
박장식님의 답변
2014-04-15- 0
XRD는 X-Ray Diffraction 으로 X-Ray 를 재료에 입사해서 회절되어서 나오는 X-Ray를 측정함으로
결정사이의 간격, 결정의 종류등에 대한 정보를 입수하는 측정방법입니다.
따라서 결정이 아닌 아몰퍼스는 측정대상이 되지 않으며,
측정강도는 결정사이의 간격, 결정배열 수, 단결정, 다결정 등에 의해서 결정됨으로 두께 측정은 어려울 것 같습니다.
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답변
신동협님의 답변
2014-04-22- 0
X-ray를 이용하여 두께를 측정하는 분석 장치에는 XRF도 있습니다.
무엇보다 가장 쉬운 방법은 SEM 사진을 찍어 보는 것입니다.
SEM 촬영이 가능한 샘플이면 주변에 SEM 장비가 많으니 의뢰하는
것도 좋을 것으로 생각됩니다. -
답변
서병일님의 답변
2014-09-08- 0
XRD는 금속성분을 정성분석 할 때쓰는 기법이며
두께측정은 아마 방사선 기법으로 측정한다고 들었습니다.
기술표준원 고시 KSDISO3882 를 보면 박막과 피막 두께측정법이 나와 있습니다.