2014-04-23
org.kosen.entty.User@7f98b9a8
신승협(rainy123)
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Sputter 를 이용하여 Sputter Working Pressure 와 박막 Adhesion 에 관한 Data
( 논문이든, 문헌이든...) 를 찾고 싶습니다
몇가지 참조 문헌들은 찾았습니다만,
Pressure 와 박막의 stress 와의 관계에 대한 내용이 많더군요...
제가 원하는 내용은 Pressure 의 높고 낮음이 박막 Adhesion 에 어떤 영향을 미치며,
Pressure 의 변화 및 Adhesion 의 변화에 따라, 박막의 구조 및 성질은 어떻게 달라지는지....
에 대한 내용을 알고 싶습니다
여러 전문가 분들의 조언 부탁 드립니다
( 논문이든, 문헌이든...) 를 찾고 싶습니다
몇가지 참조 문헌들은 찾았습니다만,
Pressure 와 박막의 stress 와의 관계에 대한 내용이 많더군요...
제가 원하는 내용은 Pressure 의 높고 낮음이 박막 Adhesion 에 어떤 영향을 미치며,
Pressure 의 변화 및 Adhesion 의 변화에 따라, 박막의 구조 및 성질은 어떻게 달라지는지....
에 대한 내용을 알고 싶습니다
여러 전문가 분들의 조언 부탁 드립니다
- 스퍼터
- 압력
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
신동협님의 답변
2014-04-23- 0
첨부파일
안녕하세요.
질문자분께서도 아시다시피 증착물질이 금속 혹은 산화물, 화합물에 따라서
증착된 박막의 잔류응력(residual stress)는 compressive or tensile stress 제각각입니다.
그리고 증착되는 기판의 특성 비정질 결정질 등에 따라서 결합력이 달라지기 때문에
증착된 박막의 잔류응력은 변화게 됩니다. 그리고 실험변수(공정 압력, 공정파워)에 따라서도 증착된 박막의 잔류응력은 달라집니다.
이런 다양한 응력의 크기와 해소될 수 있는 가능성에 따라서 박막의 접착력이 광범위하게 달라집니다.그래서 일률적인 공식은 없다고 생각됩니다.
경험상 working pressure가 크고, working power가 감소할수록 증착된 박막의 접착력은 증가하였습니다. 이는 증착되는 결정립의 크기가 작아짐으로 인해서 많은 결정립이 만들이지고 결정립 사이에서 응력이 해소되는 것으로 사료됩니다.
배지환(miracle0145) 2014-07-16？？?？？？？?？？ ？？？？ ？？?？？？？？？ ？？??？？？？?？？.
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