지식나눔

RF magnetron sputtering 에서..

RF magnetron sputtering 에서

보통 주파수를 13.56 MHz 를 쓰는데요

이 주파수가 어떻게 나오는지 증명이라고 해야 되나요..??

아시는분 알려주세요
 
  • 스퍼터링
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답변 1
  • 답변

    신동협님의 답변

    impedance matching network에 대해서 말씀하시는 것 같아
    관련 자료 보내드립니다. 참고해보세요~
    impedance matching network에 대해서 말씀하시는 것 같아
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    와우~ 영어 ㅋㅋㅋ 아무튼 감사합니다. 열심히 볼꼐요 ~