2014-06-19
org.kosen.entty.User@5af93b40
배지환(miracle0145)
- 1
제가 실리콘 웨이퍼에 Pt(약 100nm)을 증착시키고 ZnO(두께를 모름, 20분)을 올렸습니다.
그런데 Pt위에 ZnO가 올라가지 않은거 같습니다.
저항값을 측정하니 Pt만 올린것과 그 위에 ZnO올린샘플 모두 저항이 같았습니다.
저항값이 원래 같아야 하는건가요?? 아니면 Pt위에 ZnO가 잘 입혀지지 않은건가요??
후자라면 왜 그런지 궁금합니다.
그런데 Pt위에 ZnO가 올라가지 않은거 같습니다.
저항값을 측정하니 Pt만 올린것과 그 위에 ZnO올린샘플 모두 저항이 같았습니다.
저항값이 원래 같아야 하는건가요?? 아니면 Pt위에 ZnO가 잘 입혀지지 않은건가요??
후자라면 왜 그런지 궁금합니다.
- 스퍼터링
- ZnO
- Pt
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답변 1
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답변
신동협님의 답변
2014-06-20- 0
첨부파일
ZnO 박막이 잘 증착되지 않은 것 같습니다.
일반적으로 도핑이 안된 ZnO 타켓으로 ZnO 박막을 증착하면
n형 반도체 특성에 의해 저항이 크지 않습니다. 하지만 금속에 비해서는
저항값이 큽니다. (만약 산소 반응가스를 함께 넣으며 증착하셨다면
intrinsic-ZnO가 되기 때문에 저항이 매우 커집니다.)
그러므로 저항값이 같은 것으로 보아 증착이 잘 이루어지지 않은 것으로
보입니다.
박막이 증착이 잘 되지 않는 경우,
1. 박막의 증착 조건의 최적화
(일정한 공정전압, 공정압력, 박막 증착거리 등의 조건을 맞추셔야 합니다.)
2. 기판 조건 때문에 박막이 증착되지 않는 경우
(기판 혹은 박막의 스트레스가 서로 맞지 않거나, 결정구조가 잘 맞지 않는 등등)
하지만, 보통 금속 위에 스퍼터링에 의해 박막은 잘 증착됩니다.
그러므로 먼저 박막의 증착조건이 최적화되었는지 확인하시고,
Pt 박막의 상태를 확인해보시는 것이 좋지않을까 합니다.
마지막으로 ZnO 두께가 매우 얇다면 측정시 박막이 깨져, 측정팁이
다시 Pt와 접촉될 수 도 있습니다.