2014-07-02
org.kosen.entty.User@4d0b8457
민진선(kelly0714)
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안녕하세요.
궁금한 사항이 있어서 질문드립니다.
CaCO3가 thermal decomposition되는 것은 알고 있는데,
CF4 plasma condition에서도 decomposition되는지 알고 싶습니다.
만약 된다면 그 반응식은 어떻게되는지 부탁드립니다.
궁금한 사항이 있어서 질문드립니다.
CaCO3가 thermal decomposition되는 것은 알고 있는데,
CF4 plasma condition에서도 decomposition되는지 알고 싶습니다.
만약 된다면 그 반응식은 어떻게되는지 부탁드립니다.
- CaCO3
- CF4
- Surface
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
신동협님의 답변
2014-07-03- 0
첨부파일
CF4 plasma etching 시
플라마즈 가스도 순간 고온을 가지수 있기 때문에
열분해에 의한 CaO+CO2 반응 같이 분해될 수도 있을 것으로 생각됩니다.
또한 플라즈마에는 다양한 이온들이 존재하고 이온들이 CaCO3와 만나면
산화환원 반응에 의해 분해가 가능할 것으로 생각됩니다.
참고로 CF4 plasma reaction의 일반적인 내용을 보내드립니다.
답변 감사합니다~