지식나눔

스퍼터링 박막 성장에서 저진공 효과?

스퍼터링으로 박막을 증착할때,

저진공 펌프로 어느정도 잡고 고진공 펌프로 높은 압력까지 잡습니다.

여기서 실험할때마다 저진공으로 잡은 압력이 달라지면 박막 성장도 조금씩 달라지나요??

예를 들어

저진공 2*10^-2 까지 잡고 고진공 6*10^-5으로 잡습니다.

여기서 실험때마다 2*10^-2 값이 달라지면 박막의 두께도 달라지는지 궁금합니다.(고진공은 6*10^-5을 동일합니다.)
  • 스퍼터링
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답변 2
  • 답변

    고영민님의 답변

    저진공도 값이 달라지고, 고진공도는 유지가 되는 경우 박막성장에는 크게 영향을 끼치진 않을 것 같습니다. 박막이 성장되는 시기의 진공도가 동일하다면요.
    저진공도 값이 다르게 하여 실험하시는 것이 아니라면, 실험 조건을 항상 비슷(?)하게 유지시키는 것이 좋을 것 같습니다.
    그리고 진공도가 너무 낮은 경우에 고진공펌프를 작동시키면 펌프에 좋지않은 영향을 끼칠 수 있습니다. 그렇게 되면 결국 고진공펌프의 상태가 나빠져 진공도가 안좋아 질 수 있습니다.
    저진공도 값이 달라지고, 고진공도는 유지가 되는 경우 박막성장에는 크게 영향을 끼치진 않을 것 같습니다. 박막이 성장되는 시기의 진공도가 동일하다면요.
    저진공도 값이 다르게 하여 실험하시는 것이 아니라면, 실험 조건을 항상 비슷(?)하게 유지시키는 것이 좋을 것 같습니다.
    그리고 진공도가 너무 낮은 경우에 고진공펌프를 작동시키면 펌프에 좋지않은 영향을 끼칠 수 있습니다. 그렇게 되면 결국 고진공펌프의 상태가 나빠져 진공도가 안좋아 질 수 있습니다.

    아~ 그렇군요.. 감사합니다~~

  • 답변

    신동협님의 답변

    arwenjully분께서 말씀하셨듯이 박막이 성장되는 시기의 진공도가 동일하면 박막성장에 크게 영향을 주지 않습니다. 추가적으로 고진공이라고 하신  6*10^-5의 진공도가 그리 좋은 편은 아닙니다. 그래서 이 진공도가 박막 성장 조건을 찾는데 걸림돌로 작용할 수 있습니다. 조금 더 높은 10^-6 초반까지 가능하시다면 그 조건이 훨씬 좋을 것으로 생각됩니다.                      
    arwenjully분께서 말씀하셨듯이 박막이 성장되는 시기의 진공도가 동일하면 박막성장에 크게 영향을 주지 않습니다. 추가적으로 고진공이라고 하신  6*10^-5의 진공도가 그리 좋은 편은 아닙니다. 그래서 이 진공도가 박막 성장 조건을 찾는데 걸림돌로 작용할 수 있습니다. 조금 더 높은 10^-6 초반까지 가능하시다면 그 조건이 훨씬 좋을 것으로 생각됩니다.                      

    아~ 조언 감사합니다~