2014-07-08
org.kosen.entty.User@1b054230
배지환(miracle0145)
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스퍼터링으로 박막을 증착할때,
저진공 펌프로 어느정도 잡고 고진공 펌프로 높은 압력까지 잡습니다.
여기서 실험할때마다 저진공으로 잡은 압력이 달라지면 박막 성장도 조금씩 달라지나요??
예를 들어
저진공 2*10^-2 까지 잡고 고진공 6*10^-5으로 잡습니다.
여기서 실험때마다 2*10^-2 값이 달라지면 박막의 두께도 달라지는지 궁금합니다.(고진공은 6*10^-5을 동일합니다.)
저진공 펌프로 어느정도 잡고 고진공 펌프로 높은 압력까지 잡습니다.
여기서 실험할때마다 저진공으로 잡은 압력이 달라지면 박막 성장도 조금씩 달라지나요??
예를 들어
저진공 2*10^-2 까지 잡고 고진공 6*10^-5으로 잡습니다.
여기서 실험때마다 2*10^-2 값이 달라지면 박막의 두께도 달라지는지 궁금합니다.(고진공은 6*10^-5을 동일합니다.)
- 스퍼터링
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답변 2
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답변
고영민님의 답변
2014-07-08- 0
저진공도 값이 달라지고, 고진공도는 유지가 되는 경우 박막성장에는 크게 영향을 끼치진 않을 것 같습니다. 박막이 성장되는 시기의 진공도가 동일하다면요.
저진공도 값이 다르게 하여 실험하시는 것이 아니라면, 실험 조건을 항상 비슷(?)하게 유지시키는 것이 좋을 것 같습니다.
그리고 진공도가 너무 낮은 경우에 고진공펌프를 작동시키면 펌프에 좋지않은 영향을 끼칠 수 있습니다. 그렇게 되면 결국 고진공펌프의 상태가 나빠져 진공도가 안좋아 질 수 있습니다. -
답변
신동협님의 답변
2014-07-08- 0
arwenjully분께서 말씀하셨듯이 박막이 성장되는 시기의 진공도가 동일하면 박막성장에 크게 영향을 주지 않습니다. 추가적으로 고진공이라고 하신 6*10^-5의 진공도가 그리 좋은 편은 아닙니다. 그래서 이 진공도가 박막 성장 조건을 찾는데 걸림돌로 작용할 수 있습니다. 조금 더 높은 10^-6 초반까지 가능하시다면 그 조건이 훨씬 좋을 것으로 생각됩니다.
아~ 그렇군요.. 감사합니다~~