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지식나눔

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실리콘 웨이퍼 색깔..

2014-07-10 org.kosen.entty.User@e541844 배지환(miracle0145)
  • 2
박막 증착에 쓰는 실리콘 웨이퍼가..

같은 p-type (111)인데..

색깔이 하나는 보라색이고 다른건 은색이에요..
이게 왜 이런걸까요??

같은 면으로 성장된건데 색깔은 아무 의미가 없는건가요??
  • 실리콘 웨이퍼
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답변 2
  • 답변

    신동협님의 답변

    2014-07-11
    • 0
    실리콘 웨이퍼는 표면의 거칠기에 따라서 빛의 산란에 의해 색깔이 달라질 수 있고,

    실리콘 웨이퍼 위에 산화물이 생기면 그 산화물의 두께에 따라서 빛의 간섭이 달라져

    색깔이 달라질 수 있습니다.
    답변수정
    실리콘 웨이퍼는 표면의 거칠기에 따라서 빛의 산란에 의해 색깔이 달라질 수 있고,

    실리콘 웨이퍼 위에 산화물이 생기면 그 산화물의 두께에 따라서 빛의 간섭이 달라져

    색깔이 달라질 수 있습니다.
    신동협(dhshin82) 2014-07-16

    진짜로 산화물 있다면 박막의 접착력에 영향을 줄 수 있습니다. 증착되는 물질에 내부 스트레스가 생기기거나, lattice mismatch가 크면 또한 접착력이 떨어질 수 있습니다. 하지만 증착조건을 조절하면 또 박막이 증착될 수도 있습니다. 그러므로 실제로 해보셔야 정확하게 알 수 있을 거 같습니다.

    배지환(miracle0145) 2014-07-17

    답변 감사합니다.
    그럼 산화물 두께가 달라도 스퍼터링으로 박막증착 실험에는 아무 영향이 없는건가요?

  • 답변

    안길홍님의 답변

    2014-07-14
    • 0

    첨부파일

    가장 큰 원인은 증착된 두께에 따라 빛의 산란이 달라지며, 또한 보는 각도에 따라 색상이 달라집니다. 필요한 두께로 etching하여 사용하면 소기의 목적을 달성할 수 있습니다.  윗 분의 답변이 정확합니다.
    첨부 자료를 참고하시기 바랍니다.
    답변수정
    가장 큰 원인은 증착된 두께에 따라 빛의 산란이 달라지며, 또한 보는 각도에 따라 색상이 달라집니다. 필요한 두께로 etching하여 사용하면 소기의 목적을 달성할 수 있습니다.  윗 분의 답변이 정확합니다.
    첨부 자료를 참고하시기 바랍니다.
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