2014-07-14
org.kosen.entty.User@c46ab95
박병찬(allmest)
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안녕하십니까. 저는 Nanolithography 연구실에서 연구하고 있는 석사과정 학생입니다.
저는 얼마 전에 사각파 모양의 periodic한 line-grating 구조(grating size : 수 micro-meter)를 Au substrate 위에 만들었습니다. 시각적으로는 line grating이 형성되어 있는 것으로 보이지만 (OM으로도 확인을 하였습니다) 본 샘플들의 경우 표면이 rough한 면이 있어서 grating 특성이 명확하게 나타나는지를 측정을 통하여 알아보고자 합니다.
저희 샘플의 line grating의 광학특성을 확인하려면 plane-wave light source의 incident angle은 물론 detector의 detecting angle까지 sweep이 가능한 장비가 필요할 것으로 생각됩니다. 현재 알아본 바로는 Ellipsomter와 reflectrometer의 경우, operator가 line grating의 특성을 확인하는 데는 적절하지 않다고 하였으며 spectro photometer는 장비 특성상 당연 논외라고 생각됩니다. 그리고 integrating sphere의 경우 샘플의 난반사를 측정하는 데는 좋지만 제 샘플의 경우처럼 periodic한 structure를 지닌 샘플의 grating 특성 확인에는 맞지 않다는 말을 들었습니다. 이에 현재 interferometer를 이용하는 방안을 조사하고 있으나, 조사의 효율을 높이고자 본 사이트의 다른 분들로부터 조언을 얻고 싶습니다.
구체적으로는 어떤 장비를 써야 제가 원하는 결과를 얻을 수 있을 지와 그 장비의 국내보유기관은 어디인지를 알려주시면 감사하겠습니다.
이상입니다.
저는 얼마 전에 사각파 모양의 periodic한 line-grating 구조(grating size : 수 micro-meter)를 Au substrate 위에 만들었습니다. 시각적으로는 line grating이 형성되어 있는 것으로 보이지만 (OM으로도 확인을 하였습니다) 본 샘플들의 경우 표면이 rough한 면이 있어서 grating 특성이 명확하게 나타나는지를 측정을 통하여 알아보고자 합니다.
저희 샘플의 line grating의 광학특성을 확인하려면 plane-wave light source의 incident angle은 물론 detector의 detecting angle까지 sweep이 가능한 장비가 필요할 것으로 생각됩니다. 현재 알아본 바로는 Ellipsomter와 reflectrometer의 경우, operator가 line grating의 특성을 확인하는 데는 적절하지 않다고 하였으며 spectro photometer는 장비 특성상 당연 논외라고 생각됩니다. 그리고 integrating sphere의 경우 샘플의 난반사를 측정하는 데는 좋지만 제 샘플의 경우처럼 periodic한 structure를 지닌 샘플의 grating 특성 확인에는 맞지 않다는 말을 들었습니다. 이에 현재 interferometer를 이용하는 방안을 조사하고 있으나, 조사의 효율을 높이고자 본 사이트의 다른 분들로부터 조언을 얻고 싶습니다.
구체적으로는 어떤 장비를 써야 제가 원하는 결과를 얻을 수 있을 지와 그 장비의 국내보유기관은 어디인지를 알려주시면 감사하겠습니다.
이상입니다.
- grating
- reflectance
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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