2014-08-13
org.kosen.entty.User@70f2af48
조서현(musicjsh)
- 2
박막 XRD를 분석하고자 합니다.
같은 조건으로 제작한 것임에도 불구하고,
다른 peak은 크게 차이가 없지만 고각도의 기판 peak이 broad하게 나오는 경우가 있습니다.
ex, Si-Pt의 경우 40도 부근은 항상 sharp하게 나오지만 70부근은 sharp하게 나오는 경우도, broad하게 나오는 경우도 있습니다.
이유를 알고 싶습니다. !!
같은 조건으로 제작한 것임에도 불구하고,
다른 peak은 크게 차이가 없지만 고각도의 기판 peak이 broad하게 나오는 경우가 있습니다.
ex, Si-Pt의 경우 40도 부근은 항상 sharp하게 나오지만 70부근은 sharp하게 나오는 경우도, broad하게 나오는 경우도 있습니다.
이유를 알고 싶습니다. !!
- XRD
- 기판
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답변 2
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답변
신동협님의 답변
2014-08-18- 0
일반적으로 XRD peak의 20-60 도는 물질의 main peak이 있는 위치입니다.
그러므로 XRD peak의 sensitivity가 클 것입니다. 하지만 20도 이하 70~80 이상의
peak은 minor peak 입니다. 그러므로 주변의 실험환경, 측정환경에 따라서 크게
영향을 받을 수 있습니다. intensity도 일반적으로 작게 나옵니다.
같은 샘플을 두 번 연속으로 측정하셔도 차이가 있다면 측정 장비의 문제일 수 있고,
같은 batch에서 나온 샘플에서 차이이면 실험 조건의 미세한 영향일 것으로 생각됩니다.
도움이 되었으면 합니다.~ -
답변
전민구님의 답변
2014-09-16- 0
앞의 분 말씀대로 동일 시료를 이용해 반복 측정시 차이가 있다면 측정장비 문제일 수 있으나,
일반적으로 XRD 장비의 경우 이런 고장은 잘 없습니다.
증착된 박막의 두께가 어느 정도 되는지 모르겠지만, 혹시 박막의 두께에 차이가 있다면 이런 차이가 나타날 수 있습니다.
그리고 만약 theta-2theta 조건으로 측정하셨었다면, 2theta 조건에서 측정해 보시면 기판의 영향을 줄일 수 있습니다.