2014-09-02
org.kosen.entty.User@388d177
배지환(miracle0145)
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스퍼터링으로 증착된 시편을 EDX로 측정하여 나오는 정보를 가지고 타겟이 at%인지 wt%인지 알수 있습니까??
저희방에 SnO2+Si 6%라고 되있는 타겟이 있는데 6%가 at%, 인지 wt%인지 모르겠습니다.
구분이 가능한가요??
EDX로 할수 없다면 구분하는 방법좀 알려주세요
저희방에 SnO2+Si 6%라고 되있는 타겟이 있는데 6%가 at%, 인지 wt%인지 모르겠습니다.
구분이 가능한가요??
EDX로 할수 없다면 구분하는 방법좀 알려주세요
- EDX
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답변 1
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답변
신동협님의 답변
2014-09-03- 1
첨부파일
EDS 분석은 atomic concentration/weight concentration 모두 가능합니다.
그리고 타켓의 조성 정보는 보통 atomic concentration 입니다.
이를 EDS 분석으로 확인 가능합니다.