2014-09-11
org.kosen.entty.User@7851b7cf
곽계영(atomkwak)
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실험 설계 중에 질문이 있습니다.
Mo Metal substrate위에 박막 a-Si layer 를 sputter 방식으로 100~150nm 증착하고 싶습니다.
1) Mo와 Si 간의 lattice 정합성이 어떻게 되는지요? 혹은 관련 논문이나 정합성(lattice matching) 판단을 할 수있는 자료가 있는지요?
2) 비정질 증착시 Mo-metal의 평탄도를 향상하는 방법이나 substrate와 adhesion을 높일 수 있는 전처리 방식이 있는지요?
답변구해봅니다.
감사합니다.
Mo Metal substrate위에 박막 a-Si layer 를 sputter 방식으로 100~150nm 증착하고 싶습니다.
1) Mo와 Si 간의 lattice 정합성이 어떻게 되는지요? 혹은 관련 논문이나 정합성(lattice matching) 판단을 할 수있는 자료가 있는지요?
2) 비정질 증착시 Mo-metal의 평탄도를 향상하는 방법이나 substrate와 adhesion을 높일 수 있는 전처리 방식이 있는지요?
답변구해봅니다.
감사합니다.
- Mo
- Metal
- a-Si
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
신동협님의 답변
2014-09-12- 1
Mo/Si 간의 lattice mismatch(혹은 lattic parameter의 비교)가 어는 정도 인지 알아 보시면 coherent한지 incohernet 한지 어느 정도 가늠할 수 있을 것으로 생각됩니다.
그리고 Mo metal이 수 nm RMS를 가지는 기판도 판매하는 것으로 보입니다.( 참고문헌 참조)