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지식나눔

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건,습식 식각 관련 기술도서 문의

2014-09-15 org.kosen.entty.User@2dd12935 이정목(faith1029)
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건,습식 식각에 대한 이론적인 밑바탕을 쌓고자 기술도서를 구매하려고 하오니 조언부탁드립니다.

아래의 사항들이 열거된 기술도서로 부탁드립니다.

1. 건,습식 식각에 대한 개론
2. 건식 식각 Etching Rate Table
3. 습식 식각 Etching Rate Table
4. 기타 식각 공정 및 화학 반응 관련 이론

학회에서 발간된 논문집도 있다면 같이 부탁드립니다.

 
  • Dry etching
  • Wet etching
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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