2014-09-22
org.kosen.entty.User@1c2a7596
곽계영(gykwak)
- 1
안녕하세요.
실험 중 궁금한 사항이 있습니다.
박막내 Etching rate을 계산식 같은 tool을 이용하여 예측할 수는 없는지요?
예를들어, Al2O3를 ALD를 이용하여 10nm 증착을 하여, BOE 50:1로 etching을 진행하여
etching rate을 구하고자 할 때, 일반적으로 사용하는 실험적인 방법으로 etching rate을 구할 수 밖에 없는지요? (초기 thickness 측정->sec별 etching thickness 측정-> etching rate fitting)
박막 film의 종류가 아주 많은데, SiNx, SiON, Thermal Ox, HfO2, Al2O3 등등, DHF 농도나 BOE 농도별로 모두 실험해서 Etching rate을 구해야하는지 아니면 현재 어느 정도 농도별 etching rate이 정립되어 있는지 궁금합니다.
특히 Al2O3 film에 대한 DHF 농도나 BOE 농도에 따른 etching rate을 알고 싶습니다.
감사합니다.
실험 중 궁금한 사항이 있습니다.
박막내 Etching rate을 계산식 같은 tool을 이용하여 예측할 수는 없는지요?
예를들어, Al2O3를 ALD를 이용하여 10nm 증착을 하여, BOE 50:1로 etching을 진행하여
etching rate을 구하고자 할 때, 일반적으로 사용하는 실험적인 방법으로 etching rate을 구할 수 밖에 없는지요? (초기 thickness 측정->sec별 etching thickness 측정-> etching rate fitting)
박막 film의 종류가 아주 많은데, SiNx, SiON, Thermal Ox, HfO2, Al2O3 등등, DHF 농도나 BOE 농도별로 모두 실험해서 Etching rate을 구해야하는지 아니면 현재 어느 정도 농도별 etching rate이 정립되어 있는지 궁금합니다.
특히 Al2O3 film에 대한 DHF 농도나 BOE 농도에 따른 etching rate을 알고 싶습니다.
감사합니다.
- 박막
- Etching Rate
- Al2O3
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
신동협님의 답변
2014-09-23- 1
첨부파일
Al2O3와 같이 많은 사람들이 연구하는 재료는
논문에 에칭조건과 에칭된 두께가 나옵니다.
그것을 참고하시면 도움이 될 것으로 생각됩니다.
(하지만, 항상 실험의 재현성은 본인이 직접하셔서
찾으셔야 할 것으로 생각됩니다)