지식나눔

로터리펌프가 연기나요

 저희 실험실에서 스퍼터링을 사용하는데

14년 12월 초부터 15년 2월 중순까지 한번도 사용한적이 없습니다.

그런데 오늘 작동하니 로터리에서 뭔가 끓는소리가 나더니 연기가 조금씩 나요

원인이 뭔가요??

로터리 안에 있는 오일이 굳어서 그런가요??

 
  • 로터리펌프
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 8
  • 답변

    김강형님의 답변

    오일 레벨은 펌프 옆에 작고 둥근 창이 있고 중간에 금이 그어져 있습니다.
     금 아래로 내려갔다면 오일 양이 줄어서 모자라 마찰이 심해져서 나타난 현상입니다.
     오일의 색은 원래 맑고 투명한 아주 옅은 노랑색인데 탁해졌거나 검은 색을 띤다면 카본이 섞인 것입니다. 혹시 오일이 하이드로 오일이었다면 약간 분홍빛일 수 있습니다.
     그런 경우에도 맑고 밝은 색이어야 하는데 약간이라도 탁하거나 검은 빛을 띤다면 마찰열로 변성이 된 것입니다.
    이런 경우는 새 오일로 교환해야 합니다. 
    아래 쪽 드레인 밸브를 열어 오일을 배출하고 위에 주입구로 오일을 주입해 주세요. 바로 채우지 마시고 일부만 채우고 드레인 밸브로 다시 배출하여 버린 후에 깨끗해진 상태에서 새 오일을 주입하세요.
     만약 그 후에도 소음이 나거나 타는 냄새가 난다면 내부가 손상되었다는 증거이므로 바로 끄시고 A/S를 요청하세요.
    오일 레벨은 펌프 옆에 작고 둥근 창이 있고 중간에 금이 그어져 있습니다.
     금 아래로 내려갔다면 오일 양이 줄어서 모자라 마찰이 심해져서 나타난 현상입니다.
     오일의 색은 원래 맑고 투명한 아주 옅은 노랑색인데 탁해졌거나 검은 색을 띤다면 카본이 섞인 것입니다. 혹시 오일이 하이드로 오일이었다면 약간 분홍빛일 수 있습니다.
     그런 경우에도 맑고 밝은 색이어야 하는데 약간이라도 탁하거나 검은 빛을 띤다면 마찰열로 변성이 된 것입니다.
    이런 경우는 새 오일로 교환해야 합니다. 
    아래 쪽 드레인 밸브를 열어 오일을 배출하고 위에 주입구로 오일을 주입해 주세요. 바로 채우지 마시고 일부만 채우고 드레인 밸브로 다시 배출하여 버린 후에 깨끗해진 상태에서 새 오일을 주입하세요.
     만약 그 후에도 소음이 나거나 타는 냄새가 난다면 내부가 손상되었다는 증거이므로 바로 끄시고 A/S를 요청하세요.
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    강광철님의 답변

    오일의 양때문에 오래 사용안했다면 체크해 보셔요.
    가끔 오일이 세기도 하죠.
    오일의 양때문에 오래 사용안했다면 체크해 보셔요.
    가끔 오일이 세기도 하죠.
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    이배훈님의 답변

    보통 펌프를 3개월간 사용을 안했을 경우도 정기적으로 오일을 교체해 주는 것이 펌프 수명에 좋습니다.
    oil중에 녹아 있는 수분이 많아 끓는 경우도 있습니다.
    그리고 oil mist trap을 사용하는 것도 중요
    보통 펌프를 3개월간 사용을 안했을 경우도 정기적으로 오일을 교체해 주는 것이 펌프 수명에 좋습니다.
    oil중에 녹아 있는 수분이 많아 끓는 경우도 있습니다.
    그리고 oil mist trap을 사용하는 것도 중요
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  • 답변

    김강형님의 답변

    위에 설명 드린 대로 오일상태를 점검했을 때 이상이 없다면 오랜 세워 두는 사이에 펌프 내부에 오일이 밑으로 모두 빠져서 금속과 금속이 접한 상태로 회전할 때 나타나는 현상일 수도 있습니다.일이런 경우는 스위치를 아주 짧게 넣었다가 꺼서 펌프 내부에 오일이 묻혀질 정도만 회전하고 기다린 뒤에 다시 스위치를 넣어 가동하면 됩니다.일이런 것을 예방하려면 적어도 보름이나 한 달에 한 번 정도 펌프를 5분 내지 10분 정도 잠깐씩 가동하는 것이 좋습니다.
    이런 현상은 펌프만이 아니라 윤활유를 공급하는 회전체는 모두 마찬가지입니다. 자동차가 대표적이죠. 자동차 같은 경우는 중립에서 손으로 1m 정도 밀어서 오일이 엔진이나 트랜스 미션에 골고루 묻게 한 뒤에 시동을 거는 것이 안전합니다.

     
    위에 설명 드린 대로 오일상태를 점검했을 때 이상이 없다면 오랜 세워 두는 사이에 펌프 내부에 오일이 밑으로 모두 빠져서 금속과 금속이 접한 상태로 회전할 때 나타나는 현상일 수도 있습니다.일이런 경우는 스위치를 아주 짧게 넣었다가 꺼서 펌프 내부에 오일이 묻혀질 정도만 회전하고 기다린 뒤에 다시 스위치를 넣어 가동하면 됩니다.일이런 것을 예방하려면 적어도 보름이나 한 달에 한 번 정도 펌프를 5분 내지 10분 정도 잠깐씩 가동하는 것이 좋습니다.
    이런 현상은 펌프만이 아니라 윤활유를 공급하는 회전체는 모두 마찬가지입니다. 자동차가 대표적이죠. 자동차 같은 경우는 중립에서 손으로 1m 정도 밀어서 오일이 엔진이나 트랜스 미션에 골고루 묻게 한 뒤에 시동을 거는 것이 안전합니다.

     
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    이경인님의 답변

    윗분들 말씀처럼 오일 레벨 확인하시구요, 전기적인 문제가 없는지 확인은 필수적으로 필요합니다.
    다만, 일반적인 로터리 타입의 진공펌프의 경우 가동 초기에 일정부분 연기가 발생됩니다. 직전에 사용한 조건에 따라 조금 심하게 발생되기도 하구요.
    그러나 일정 시간이 지나고 나면 자연스럽게 사라질 것입니다.
    끓는 듯한 소리도 잠잠해질 것이니 오일 레벨과 상태, 전기적인 문제 확인만 잘 하셨다면 걱정하시지 않아도 됩니다.
    혹시 메뉴얼이 있으시다면 blast 밸브 조작으로 상태를 조절하는 방법이 있을 수도 있으니 확인해 보시기 바랍니다.
    윗분들 말씀처럼 오일 레벨 확인하시구요, 전기적인 문제가 없는지 확인은 필수적으로 필요합니다.
    다만, 일반적인 로터리 타입의 진공펌프의 경우 가동 초기에 일정부분 연기가 발생됩니다. 직전에 사용한 조건에 따라 조금 심하게 발생되기도 하구요.
    그러나 일정 시간이 지나고 나면 자연스럽게 사라질 것입니다.
    끓는 듯한 소리도 잠잠해질 것이니 오일 레벨과 상태, 전기적인 문제 확인만 잘 하셨다면 걱정하시지 않아도 됩니다.
    혹시 메뉴얼이 있으시다면 blast 밸브 조작으로 상태를 조절하는 방법이 있을 수도 있으니 확인해 보시기 바랍니다.

    blast 밸브가 뭔가요??

    그리고 진공을 뽑아 봤는데 10^-1 도 뽑히지 않네요
    릭이 있는거 같진 않은데 이유를 모르겠습니다..

    조언좀 부탁 드립니다.

    - 오타가 있었군요...^^; ballast 밸브입니다.
    - 로터리펌프와 같은 유회전 진공펌프로 수증기를 배기할 경우 수증기의 압력이 일정치를 넘어서면 수증기는 펌프 내에서 응축되어 오일의 중간에 혼입됩니다. 이 경우 도달압력과 배기 속도가 나빠지고 오일과 오일씰(oil seal)을 상하게 하여 펌프를 고장시키는 원인이 됩니다. 펌프의 압축과정에 있어서 펌프 내에 공기를 유입하면 수증기의 분압이 포화증기압에 도달하기 전에 실린더 내의 공기와 수증기는 같이 펌프 밖으로 배기 됩니다.

    - Gas ballast 밸브는 실린더 내에 신선한 공기를 유입하기 위한 목적으로 실린더 내의 공간과 외부를 연결하는 배관입니다.

    - Gas ballast 밸브로부터 유입되는 공기의 양은 배기하는 가스의 온도와 압력 등에 의해 달라져야 합니다. 불필요하게 밸브를 많이 열어 놓으면, 도달 진공도가 떨어지고 펌프의 부하가 과중됩니다. 또한, 펌프에 흡입되는 가스의 온도가 진공펌프의 운전시 온도보다 높으면 Gas ballast 밸브를 사용하여도 액화되기 때문에 의미가 없어집니다. 이 경우 냉각트랩을 이용하여 흡입 가스의 온도를 낮추어 주면 효과적입니다.

    - 일정시간 적절히 열어두었다가 다시 밀폐시키는 방식으로 조작하면서 진공도의 변화를 관찰해 보시기 바랍니다.

    감사합니다.
    조금더 해보겠습니다.

  • 답변

    배지환님의 답변

    오일을 갈아보니 끓는 소리는 나지 않습니다.

    그래서 진공을 뽑아 밨는데 10^-1 도 뽑히지 않습니다.

    조언좀 부탁 드립니다.
    오일을 갈아보니 끓는 소리는 나지 않습니다.

    그래서 진공을 뽑아 밨는데 10^-1 도 뽑히지 않습니다.

    조언좀 부탁 드립니다.
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  • 답변

    송준희님의 답변

    유지관리 문제인 듯합니다.
    적정 오일이 있는 상태에서 몇개월 사용 안했다고 문제가 생기진 않는데 아마도 오일이 부족한 상태에서 방치되어 베인이나 관로에 이물질 및 오일의 경화가 있는 것 같습니다.
    내부의 청소는 직접 어려우니 제조업체에 문의하셔서 A/S를 받는 것이 낫다고 생각합니다.
    이상있는 상태에서 가동을 자주하면 오히려 문제를 키울 수 있습니다.
    끓는 소리가 난 것은 오일 부족이 원인인 것 같네요
    유지관리 문제인 듯합니다.
    적정 오일이 있는 상태에서 몇개월 사용 안했다고 문제가 생기진 않는데 아마도 오일이 부족한 상태에서 방치되어 베인이나 관로에 이물질 및 오일의 경화가 있는 것 같습니다.
    내부의 청소는 직접 어려우니 제조업체에 문의하셔서 A/S를 받는 것이 낫다고 생각합니다.
    이상있는 상태에서 가동을 자주하면 오히려 문제를 키울 수 있습니다.
    끓는 소리가 난 것은 오일 부족이 원인인 것 같네요
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  • 답변

    김종현님의 답변

    첨부파일

    이 일이 이미 해결 되셨기를 바랍니다.

    오일을 갈았는데도 진공이 걸리지 않으면 leaking이 있다고 생각합니다. 일단은 시스템을 점검해 보시고, 다른 로터리 펌프가 있으시면 그것을 이용해서 확인해 보시면 됩니다. 두번째 의심하셔야 할 곳은 로터리 펌프 자체에 있는 gasket입니다. 보통 노후한 펌프의 경우 주기적으로 교체하게 되어있는데 구글에서 펌프의 모델 넘버를 확인하셔서 메뉴얼을 보시면 어떻게 gasket을 확인하는지 알 수 있습니다. (보통은 모터와 펌프 사이의 볼트를 풀면 됩니다. 물론 오일을 빼고 하셔야 합니다.)
    마지막으로 혹시나 해서, ballast 밸브는 closed로 되어있는지요? 만일 이게 open 위치에 있으면 압력이 떨어집니다. 하지만 10^-1torr까지 떨어지는지는 모르겠네요. 제 생각엔 그래도 대략 5-7*10^-2 정도가 아닐까 싶은데요...
    아무튼, 즐거운 실험이 되시길 바라겠습니다.

    ps. 오일의 양은 충분한지요?
    이 일이 이미 해결 되셨기를 바랍니다.

    오일을 갈았는데도 진공이 걸리지 않으면 leaking이 있다고 생각합니다. 일단은 시스템을 점검해 보시고, 다른 로터리 펌프가 있으시면 그것을 이용해서 확인해 보시면 됩니다. 두번째 의심하셔야 할 곳은 로터리 펌프 자체에 있는 gasket입니다. 보통 노후한 펌프의 경우 주기적으로 교체하게 되어있는데 구글에서 펌프의 모델 넘버를 확인하셔서 메뉴얼을 보시면 어떻게 gasket을 확인하는지 알 수 있습니다. (보통은 모터와 펌프 사이의 볼트를 풀면 됩니다. 물론 오일을 빼고 하셔야 합니다.)
    마지막으로 혹시나 해서, ballast 밸브는 closed로 되어있는지요? 만일 이게 open 위치에 있으면 압력이 떨어집니다. 하지만 10^-1torr까지 떨어지는지는 모르겠네요. 제 생각엔 그래도 대략 5-7*10^-2 정도가 아닐까 싶은데요...
    아무튼, 즐거운 실험이 되시길 바라겠습니다.

    ps. 오일의 양은 충분한지요?
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