2015-02-14
org.kosen.entty.User@4d19039f
변성천(rg1000)
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전자현미경에서는 틸트라는 기능이 있어서 샘플을 기울릴수 있습니다. 그러면 길이가 변할 것인데, 이 것을 어떻게 보정해야 하는지 궁금합니다. 전자현미경에는 in-lens, out-lens, semi-in lens 등이 있어서 각 경우에 따라서 길이를 계산하는 방법이 다른다는 말을 들은것 같습니다.
- 전자현미경
- 기울기
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
김강형님의 답변
2015-02-16- 1
제가 알던 것과 다른 관점에서 질문이 올라와 저도 궁금해서 찾아 보았습니다.
우선 전자현미경에서 구분하는 in-lens, out-lens, semi-in lens는 현미경 내 자장에서 시편이 놓이는 위치가 어디인가를 구분하는 내용입니다. 자장 안에 시편이 놓이는 방식이 in-lens이고 바깥에 놓이는 것이 outlens, 시편의 일부는 안에 일부는 바깥에 놓이는 경우를 semi-in lens라고 구분하네요.
아시다시피 전자현미경은 자장을 형성하고 전자총에서 전자를 발사하여 시편에서 튀어 나오는 2차 전자를 감지함으로써 이미지를 형성하게 됩니다.
따라서 시편에서의 길이와는 별개의 내용입니다.
사진에서 나타내는 거리는 투영길이이므로 시편을 바라보는 위치에서의 거리라고 생각하셔야 할 것 같습니다. 기울어진 상태의 시편을 투영하면서 보이는 길이는 실제 그 면에 평행하게 측정하면 다르겠지만 투영 길이라고 알고 본다면 큰 문제는 없다고 생각합니다.
김강형(kimsimon) 2015-02-17저도 업무상 전자현미경을 활용하고 예전에는 연구실에 보유하고 있었던 경험이 있어서 질문에 관심을 가졌습니다.
그런데 사진 상에 나온 거리를 별도로 보정하는 것은 처음 들었거든요.
그래서 찾아 보았던 내용입니다.
만약 거리측정이 중요한 것이라면 수직 직상에서 사진을 얻어 기준으로 삼아야 하지 않을까 싶습니다.
그리고 그 상태에서 원하는 이미지를 얻도록 기울이고 기준 사진 상에서의 기준점 간의 거리와 비교하여 거리를 보정하는 방법으로 하면 되지 않을까요?
자장과 시편의 위치 관계는 결국 얼마나 깨끗하고 왜곡되지 않은 이미지를 얻느냐에 달려 있다고 생각됩니다. 비교해 보셨을 때 세 가지 중 어떤 방법에서 더 깨끗한 이미지를 얻을 수 있다고 생각하시나요? -
답변
신동협님의 답변
2015-02-18- 1
"단면이 측정하고자하는 박막면과 수직이 되지 않는다면 측정한 두께는 실제 두께보다 더 크게 나타날 것이다. 보기를 들면 수직면에 10°의 경사는 1.5%의 두께 측정오차를 나타낸다." 이 내용은 참고 문헌에서 인용한 것입니다. 도움이 될 길 바랍니다.
더 정확한 정보는 KBSI 혹은 KRISS에서 전자현미경 연구하시는 분께 메일 보내는 것이 좋지 않을까 합니다. 정확한 답은 드리지 못하네요.
분석의뢰자가 정면에서 이미지를 찍고 5도 기울여서 찍어서 이미지를 비교하는 것을 보았습니다. 그러면서, 본인은 그 전에 찍었던 것이 이런 렌즈라서 보여주더군요. 그리고, 현재 현미경에 대해 물어보았는데, 답변을 하지 못했습니다. 업체에 그런 질문을 했는데, 업체에서도 답을 주지 못하더군요. 제 생각으로는 WD값은 같아도 렌즈의 위치가 달라지기때문에 기울기에 대한 보정을 달리하는 것 같습니다.