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스퍼터링에서 로터리펌프과 챔버 연결하는 통로

스퍼터링에서 로터리펌프과 챔버가 연겱되어있는 통로 이름이 뭔가요??

그쪽에서 릭이 발생하는거 같아 교체 하려고 합니다.
  • 스퍼터링
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