지식나눔

e-beam lithography negative resist 사용가능한 연구실

안녕하세요
 국내 학교 연구실 혹은 연구소 중에 e-beam lithograpy 장비를 보유하고 있는곳, 혹은 의뢰를 받아 패턴을 해줄수 있는곳, negative resist를 사용하는 곳을 아시면 알려주세요 ㅠㅠ (단, 나노펩센터제외)
  • e-bema lithography
  • lithograhpy
  • 이빔리소
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
  • 답변

    신동협님의 답변

    KAIST 옆 나노종합기술원에서 상기의 서비스를 진행중입니다.
    아래에 링크해놓았습니다.

    https://www.nnfc.re.kr/support/equi_manager.jsp?l_me_seq=39
    KAIST 옆 나노종합기술원에서 상기의 서비스를 진행중입니다.
    아래에 링크해놓았습니다.

    https://www.nnfc.re.kr/support/equi_manager.jsp?l_me_seq=39

    네 정보 감사합니다. 다만 알려주신 나노팹 경우에 금액이 고가라서요.. 혹시 주위에 공동연구로 이빔리소를 해줄수 있는곳을 아시면 부탁드립니다.