2015-05-13
org.kosen.entty.User@7e5b795d
배지환(miracle0145)
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현재 저희 스퍼터링의 상태를 말씀 드리겠습니다.
로터리 펌프로 진공도가 8.4*10^-0 잡힙니다.
정상이라면 ^-2승 정도까지는 쉽게 잡혔습니다.
로터리 펌프 문제인줄 알고 로터리 바꿨으나, 상황은 같습니다.(오일도 이상 없습니다.)
캐소드에서 릭이 생겻나 해서 캐소드 뜯어보니 오링이 둥글지 않고 사각형이 되어 오링 교체도 했지만, 상황은 같습니다.
챔버주위, 주름관에 문제가 있나 봤더니, 문제가 없어보입니다.
또 어디에서 릭이 생기는지 봐야되나요??
저희과 스퍼터링 장비쓰는 학생들 다 봤지만 답이 안나오네요..
현재 스퍼터링 업체를 부를 상황은 못됩니다.
아시는분 알려주세요, 제발......ㅠㅠ
- 스퍼터링
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답변 5
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답변
김종현님의 답변
2015-05-13- 1
첫번째, 로터리 펌프의 문제인지 아닌지를 확인하기 위해서 로터리 펌프에 압력계를 연결해서 직접 측정해 보세요. 10^-2 torr까지 내려 간다면 펌프의 문제는 아닐테지만 만일 그렇지 않다면 펌프가 문제입니다.
두번째로, 펌프에 문제가 없다면 챔버 어딘가에 틈이 있어서 leaking이 발생하는 것입니다. 모든 o-ring을 사용하는 부분을 일일히 검사해 보시고, o-ring의 상태가 어떤지 확인해 보셔야 합니다.
주름관 (스텐레스로 된 것을 말씀하시는건가요?)에 문제가 생겼을 경우 육안으로 찾아내기가 쉽지 않습니다. 그리고 생각보다 문제가 잘 생깁니다. 주름관을 로터리 펌프에 연결하고, 그 위헤 압력계를 걸어보시면 주름관에 문제가 있는지 없는지 확인이 가능합니다.
혹시 더 질문이 있으시면 글 남겨주세요.
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답변
신동협님의 답변
2015-05-14- 1
진공도가 안좋아지기 전후 증상이 있었는지 궁금합니다.
이를 알면 진단하기 더욱 용이할 것입니다.
아니면 청소를 하셨거나 교체를 하셨거나 등등 입니다.
마지막으로 피드스루 쪽에서 릭이 생기는 경우가 종종 있습니다.
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답변
김종현님의 답변
2015-05-21- 1
첨부파일
만일 위의 경우라면 장비를 옮기면서 vacuum line에 Leaking이 생겼을 확률이 클 것으로 보이는데 혹시 connection들을 하나씩 확인해 보셨는지요? -
답변
김진철님의 답변
2015-06-10- 1
펌프가 이상이 없다면 이동시 변형이나 이음매, 뜸새등에서 '생길수 있읍니다~
간단하게 진공 펌프 가동시키며 알콜을 주사기에 넣어 표면과 틈새에 뿌려가며
진공게이지의 변화를 보며 리크부를 찾아야죠~!
아니면 진공업체에서 He Leak detecter를 사용하면 더 쉽고요~
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답변
김종현님의 답변
2015-06-21- 1
혹시나 하는 마음에 글을 남깁니다. Leak을 찾기위해 에탄올이나 메탄올을 뿌려가면서 압력의 변화를 찾는 것은 굉장히 쉽고 널리 사용되는 방법입니다. 그러나 반드시 유념해야 할 사항은 이 방법은 모든 진공 챔버에 사용할 수 있는 방법이 아닙니다. High Vacuum 이상 사용할 경우, 혹은 챔버 내부에 다른 장치들이 있어서 용매에 영향을 받을 수 있는 경우는 조심해야 합니다. 또한 O-ring의 재질에 따라 유기 용매에 약한 경우, 좋지 않은 영향을 끼칠 수 있습니다. Ion gauge를 사용할 정도의 진공이라면 헬륨 기체를 뿌려가면서 압력 변화를 지켜보는 것도 좋은 방법이 될 수 있습니다.