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지식나눔

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물질이 치환 됐는지 알아 보는방법

2015-05-19 org.kosen.entty.User@3178d090 배지환(miracle0145)
  • 3
LiMn2O4 박막 위에 Cr2O3박막을 증착했습니다. 그러곤 어떤 공정에 의해서 LiMn2O4의 Mn자리에 Cr2O3의 Cr을 치환하려고 합니다.

치환이 되었는지 눈으로 집접 확인해볼 방법이 있습니까?

없다면 어떤 방법을 통해서 치환 되었는지 확인이 가능합니까?
 
  • 재료
  • 치환
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
  • 답변

    이훈희님의 답변

    2015-05-20
    • 1
    가장 간단하게는 XRD분석을 해 보면 어떨까 싶습니다. Cr이 치환된다면 결정구조가 변화될 것으로 생각되는데요. 
    참고: Solid State Ionics 152-153 (2002) 335-339
    답변수정
    가장 간단하게는 XRD분석을 해 보면 어떨까 싶습니다. Cr이 치환된다면 결정구조가 변화될 것으로 생각되는데요. 
    참고: Solid State Ionics 152-153 (2002) 335-339
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    이배훈님의 답변

    2015-05-20
    • 1
    eds xps 를 통해 박막위에  원소 sperctrum을 얻을 수  있습니다.
    XPS를 통해 좀더 정확한 자료를 얻을 수 있습니다 
    답변수정
    eds xps 를 통해 박막위에  원소 sperctrum을 얻을 수  있습니다.
    XPS를 통해 좀더 정확한 자료를 얻을 수 있습니다 
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    변성천님의 답변

    2015-05-29
    • 1
    증착된 박막 두께가 얼마인지가 궁금합니다. 박막두께가 얇다면 치환이 되더라도 CR이 분석되지 않을 수 있습니다. 수십 nm이하이면 EDS, XRD에서는 Cr 피크가 나오지 않을 수 있습니다. 그 정도로 얇다면 XPS에서 분석하는 것이 맞습니다. 전에 Ag로 전체 코팅된 샘플을 분석했는데, XPS에서는 100%으로 확인되는데 EDS에서는 없는 것으로 분석되었습니다. 이것은 분석원리가 분석두께의 차이때문입니다. XPS에서 10nm 이내가 분석되고, EDS에서 1-3um까지 분석되어 표면분석는 것의 분석되지 않고 베이스 기판이 분석되는 경우가 종종 발생합니다.
    답변수정
    증착된 박막 두께가 얼마인지가 궁금합니다. 박막두께가 얇다면 치환이 되더라도 CR이 분석되지 않을 수 있습니다. 수십 nm이하이면 EDS, XRD에서는 Cr 피크가 나오지 않을 수 있습니다. 그 정도로 얇다면 XPS에서 분석하는 것이 맞습니다. 전에 Ag로 전체 코팅된 샘플을 분석했는데, XPS에서는 100%으로 확인되는데 EDS에서는 없는 것으로 분석되었습니다. 이것은 분석원리가 분석두께의 차이때문입니다. XPS에서 10nm 이내가 분석되고, EDS에서 1-3um까지 분석되어 표면분석는 것의 분석되지 않고 베이스 기판이 분석되는 경우가 종종 발생합니다.
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