2015-10-09
org.kosen.entty.User@3f04bab0
신동훈(sdh0813)
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점도 130cps 레진을 20µm 두께로 도포하기 위한 방법을 생각하다가 spin coat을 생각해 보았습니다.
점도가 낮아서 spin coater은 힘겠지만 spin coater의 점도, 스피드, 생성 두께의 상관 관계를 알고 싶어져서 관련 자료나 논문 제목을 알고 싶어서 글을 올립니다.
관련 자료을 알려주시면 공부 하는데 참고 하도록 하겠습니다.
점도가 낮아서 spin coater은 힘겠지만 spin coater의 점도, 스피드, 생성 두께의 상관 관계를 알고 싶어져서 관련 자료나 논문 제목을 알고 싶어서 글을 올립니다.
관련 자료을 알려주시면 공부 하는데 참고 하도록 하겠습니다.
- spin coater
- spin coating
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
이훈희님의 답변
2015-10-12- 1
정확한 답변은 아니지만 코팅의 경우는 이론적으로 공부하는 것보다는 실제로 해 보시는 것이 훨씬 더 빠를 것입니다. 점도가 너무 낮다면 레진의 특성에 영향을 미치지 않을만한 점도 향상제를 찾아보시는 것도 한 가지 방법이 될 수 있을 것 같습니다. -
답변
오현철님의 답변
2015-10-13- 1
저도 위의 답변에 동의합니다. 스핀코팅은 논문을보고 하기보다는 직접 러프하게 도포후에 두께를 측정해서 원하는 range 에 들어가도록 세밀하게 조절해가는 과정이 필요합니다. -
답변
신대규님의 답변
2015-10-23- 1
첨부파일
그 다음은 직접 실험해보는 수 밖에 없겠네요.
레진이 Spin Coating용으로 나온게 아니라면 제조사에 문의해도 별 다른 수는 없을 것 같습니다.
관련 논문은 찾아본적은 없지만 Spin Coat를 메인 주제로 쓴 논문을 찾는 노력보다는
RPM과 도포량을 기반으로 X-Y그래프를 하나 만들어보세요.
점도가 많이 낮아서 낮은 RPM에서도 잘 흩날린다면 레진을 넓게 도포해서 균일성을 유지하도록 Coating을 유도해보세요.
원하시는 것을 얻을 수 있길 바랍니다.
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답변
이상호님의 답변
2015-11-07- 1
이론적으로는 점도가 낮을 수록 그리고 spin 속도가 클 수록 두께는 낮게 됩니다. 그리고 spin 속도가 어느 이상이 되면 두께가 크게 변하지 않는 saturation 영역도 생기고요. 그런데, 정성적 경향은 예측할 수 있지만 원하는 두께의 막을 얻고자한다면 실험을 통하여 균일한 막을 얻도록 하십시요.