2015-11-02
org.kosen.entty.User@1187e24
이근우(kkeun8722)
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반도체 분야를 공부하는 사람입니다.
cvd에서 precursor 주입시 vaporizer(기화기)가 아닌 bubbler 사용시 주입(캐리어) 가스량 및 챔버의
압력 등에 따라 bubbler 내부의 챔버로 주입되는 precursor의 양이 달라지는데요
precursor의 소모량을 계산할 수 있는 식을 알려주셨으면 합니다.
부탁드리며, 가능하시면 엑셀 시트등을 알려주시면 감사하겠습니다.
cvd에서 precursor 주입시 vaporizer(기화기)가 아닌 bubbler 사용시 주입(캐리어) 가스량 및 챔버의
압력 등에 따라 bubbler 내부의 챔버로 주입되는 precursor의 양이 달라지는데요
precursor의 소모량을 계산할 수 있는 식을 알려주셨으면 합니다.
부탁드리며, 가능하시면 엑셀 시트등을 알려주시면 감사하겠습니다.
- bubbler
- liqud
- 사용량
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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