2015-11-30
org.kosen.entty.User@41613b56
이형진(hjleev)
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저희가 이온성 액체를 연구하려고 하는데요
혹시 반도체에 들어가는 화학 용매 중에 이온성 액체로 대체 가능하거나 섞어서 효과를 낼만한게 있을까요? 아님 너무 Toxic하다던가 해서 ....바꾸려는 니즈가 있는지 해서....
혹시 아시는 고수분들꼐 도움을 청합니다.
감사합니다. 꾸벅
혹시 반도체에 들어가는 화학 용매 중에 이온성 액체로 대체 가능하거나 섞어서 효과를 낼만한게 있을까요? 아님 너무 Toxic하다던가 해서 ....바꾸려는 니즈가 있는지 해서....
혹시 아시는 고수분들꼐 도움을 청합니다.
감사합니다. 꾸벅
- 친환경
- 용매
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
이홍규님의 답변
2015-12-03- 1
일단 기본적으로 반도체에서 사용되는 용매들은 각각 공정에서 최상의 효과를 내야하는 강하고 toxic한 물질들을 많이 사용하고 있습니다.
질문하신 목적이 반도체에서 사용하는 친환경 물질을 원하시는것 같은데
친환경적으로 하기에는 사용 목적 대비 기회비용이 너무 클것 같습니다.
공정 자체가 하드한 조건이라서 좀 힘들어 보입니다.