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지식나눔

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주사전자현미경의 분해능

2016-01-27 org.kosen.entty.User@1347926e 변성천(rg1000)
  • 1
주사전자현미경의 분해능에 관해 문의합니다. 요즘 전계방출형 주사전자현미경의 규격을 살펴보면 SEI : 1nm, BSE : 2nm로 적혀있습니다. 어떻게 BSE : 2nm 분해능이 나오는지 궁금합니다.
  • 주사전자현미경
  • 분해능
  • BSE
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답변 1
  • 답변

    김종수님의 답변

    2016-01-27
    • 3
    SEM의 분해능 규격은 최대출력의 전자빔에서 가장 이상적인 환경에서의 수치로 알고 있습니다
    주변 환경의 노이즈 정도나 사용자의 실력 등 다양한 변수에 의해 분해능이 떨어질것으로 예상됩니다.
    요즘은 잘 사용하지 않지만 전에 SEM 유저였는데 질문자님꼐서 어떤 샘플을 사용하시는지는 모르겠습니다만 저희 연구실에서는 유기소자를 다뤄서 보통 샘플이 전자빔의 출력을 높이면 타버리는 경우가 많습니다 그래서 출력을 많이 높이지 못해 수 나노 정도의 분해능으로는 찍어보지 못했습니다. 또 SEM의 위치도 중요한 것으로 알고 있습니다 아무래도 주변에 노이즈가 있으면 수나노의 분해능은 찍을수가 없겠네요
     
    답변수정
    SEM의 분해능 규격은 최대출력의 전자빔에서 가장 이상적인 환경에서의 수치로 알고 있습니다
    주변 환경의 노이즈 정도나 사용자의 실력 등 다양한 변수에 의해 분해능이 떨어질것으로 예상됩니다.
    요즘은 잘 사용하지 않지만 전에 SEM 유저였는데 질문자님꼐서 어떤 샘플을 사용하시는지는 모르겠습니다만 저희 연구실에서는 유기소자를 다뤄서 보통 샘플이 전자빔의 출력을 높이면 타버리는 경우가 많습니다 그래서 출력을 많이 높이지 못해 수 나노 정도의 분해능으로는 찍어보지 못했습니다. 또 SEM의 위치도 중요한 것으로 알고 있습니다 아무래도 주변에 노이즈가 있으면 수나노의 분해능은 찍을수가 없겠네요
     
    변성천(rg1000) 2016-01-28

    답변감사합니다. 제가 알고 싶는 것은 전자의 반응부피때문에 일반적인 SE 이미지는 0.5 nm까지 나온다는 것은 보았습니다. 그런데, BSE 이미지는 상대적을 분해능이 떨어지는 것으로 알고 있습니다. 특히 30KV에서 2nm로 표시되어 있습니다. BSE 이미지의 분해능을 높이기 위해 가속전압을 줄이는데, 가속전압 30KV에서 어떻게 그런 분해능이 나오는지??

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