2016-06-30
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김성수(zero1521)
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대기압플라즈마와 진공플라즈마가 있는데 어떤 것이 어떤 분야에 쓰이는지 알고싶습니다.
- 플라즈마
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 5
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답변
이상호님의 답변
2016-07-23- 2
대기압 플라즈마의 예는 첫번째 답변에 잘 열거되어 있어서 진공 플라즈마의 예에 대해 부연설명합니다.
반도체나 기타 전자 소자 공정에 사용되는 많은 공정이 진공 플라즈마를 사용합니다. Sputter, CVD, dry etch 등입니다. 생활에 밀접한 진공 플라즈마는 형광등과 네온 사인이 있습니다.
Sputter, CVD, dry etch등은 플라즈마에에서 입자의 움직임을 제어하여 박막이 형성되거나 물질을 없애는데 사용되고, 형과등이나 네온 사인은 플라즈마에서 형성되는 빟을 이용한 것입니다. -
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김진철님의 답변
2016-07-01- 1
대기압에서 발생하게 만들어 공기 청정기, 살균, 오존발생, 등에 이용하며 진공프라즈마는 진공중에서 발생시켜 이온 가속, 물질 가속, 이온 코팅, 물질분석등에 이용합니다~자료는 한국진공학회( KVS)학회지나 한국표준연구소 진공압력연구실에서 참고 문헌이 도움이 되리라 생각됩니다~~ 프라즈마 발생기도 전원에따라 RF, DC, 마이크로웨이브, 필라멘트소스, ICP, 등 다양합니다~~ -
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김종현님의 답변
2016-07-01- 1
대기압 플라즈마의 대표적인 현상은 번개죠.(구름과 지표 사이의) 이 현상을 통해서 음(-)으로 대전되는 구름의 불안정성이 해소됩니다. 번개가 치면서 공기 중의 산소들의 반응으로 오존 등이 만들어 지기도 하고, 이를 응용한 것이 오존 발생 장치 같은 것들입니다.
진공 중의 플라즈마는 carrier gas를 흘려주면서 큰 전위차를 발생시키면 번개가 치는 것과 비슷한 현상이 발생하게 됩니다. 이를 이용하여 carrier gas 분자를 excitation 시키거나 혹은 다른 분자들을 carrier gas에 실어서 흘려주면 분자의 excitation 및 분자 구조의 변형을 관찰하실 수 있습니다.
분광학 혹은 기체화학에서 사용되는 방법입니다. -
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윤상진님의 답변
2017-12-15- 1
PDP라는 Plasma display panel는 Plasma를 이용한 DIsplay로서
약 10년전 대형 평판 TV의 주류를 이루었던 Display device입니다.
약 400torr의 Ne과 Xe gas를 두장의 유리판에 봉입한 후,
양 유리판에 있는 전극에 전압을 인가하여 Plasma 상태로 만들고,
Plasma 상태에서 전자와 이온들이 형광체를 여기시켜 빛을 만들어 내는
Display 장치입니다. -
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김성수님의 답변
2018-02-20- 1
대기압 플라즈마의 대표적인 현상은 번개죠.(구름과 지표 사이의) 이 현상을 통해서 음(-)으로 대전되는 구름의 불안정성이 해소됩니다. 번개가 치면서 공기 중의 산소들의 반응으로 오존 등이 만들어 지기도 하고, 이를 응용한 것이 오존 발생 장치 같은 것들입니다.
진공 중의 플라즈마는 carrier gas를 흘려주면서 큰 전위차를 발생시키면 번개가 치는 것과 비슷한 현상이 발생하게 됩니다. 이를 이용하여 carrier gas 분자를 excitation 시키거나 혹은 다른 분자들을 carrier gas에 실어서 흘려주면 분자의 excitation 및 분자 구조의 변형을 관찰하실 수 있습니다.
분광학 혹은 기체화학에서 사용되는 방법입니다.