2016-08-04
org.kosen.entty.User@56c8c42
신소라(ibelieve2190)
- 1
안녕하세요.
반도체에 대해서 무지한 생물학을 전공한 1인입니다.
전공자분은 간단하게 대답해주실수 있으실 것 같은데,
미세피치 검사 기술의 정의와 현재 어떤 기술들이 개발되고 있는 키워드 정도로만 간략하게 설명부탁드립니다. ㅠㅠ
이게 미세피치(반도체 부품과부품사이의 간격)을 검사하는 기술을 말하는건지
아니면 미세피치 검사라는게 따로 있는 것인지....
알려주세요~~
반도체에 대해서 무지한 생물학을 전공한 1인입니다.
전공자분은 간단하게 대답해주실수 있으실 것 같은데,
미세피치 검사 기술의 정의와 현재 어떤 기술들이 개발되고 있는 키워드 정도로만 간략하게 설명부탁드립니다. ㅠㅠ
이게 미세피치(반도체 부품과부품사이의 간격)을 검사하는 기술을 말하는건지
아니면 미세피치 검사라는게 따로 있는 것인지....
알려주세요~~
- 미세피치
- 파인피치
- fine fitch
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
최원희님의 답변
2016-10-08- 1
저도 반도체 전공은 아니지만, 광학을 실무로 배우고 있는 1인 입니다.
우선 말씀하시는 미세피치의 기준이 어느정도인지요.
통상적인 광학 측정 장비는 Diffraction limit 이하를 측정가능한가...
에 대해 광학 측정 기술의 난이도가 바뀐다고 알고 있습니다.
공초점 현미경이라고 불리는 confocal microscopy가 주로 사용되는데요.
관련 소개자료가 인터넷에 있어 링크 달았습니다.
참고하세요.
http://www.zeus.go.kr/market/cafe/wownfec/post/23864/down/16513
http://nanoptic.net/nano/research02.htm