지식나눔

이종기판위에 증착되는 물질

 이종기판위에 film 이 증착되면 서로간의 열팽창계수의 차에 의해서 재료가 휘어지거나 혹은 깨어지게 되는데, 혹시 위에 증착된 재료의 두께에 따라서 이러한 현상들이 완화되거나 심해지는 현상에 대한 메커니즘이 있을까요?
  • Heteroepitaxy
  • Thermal expansion coefficient
  • Gallium nitride
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