2017-01-21
org.kosen.entty.User@78be36f7
강경인(kyoungin90)
- 2
안녕하세요.
전기를 이용해서 물질을 필터링을 하려고 하는데요.
실리콘 웨이퍼 위에 패턴을 내서 전기자극을 주면
그 패턴 안쪽으로 물질들을 포집하고자 하는데
실리콘 웨이퍼가 전도성이 괜찮을까요?
비저항이 0.01옴cm 정도인데
1cm * 3cm 정도 크기 웨이퍼인데
이것도 다른 것들(구리, 은)과 비교해서 너무 않좋아서요 ㅠㅠ
반도체같은곳에 쓰는것 같은데
전기가 잘 안통하는것 같아서요.
전기를 이용해서 물질을 필터링을 하려고 하는데요.
실리콘 웨이퍼 위에 패턴을 내서 전기자극을 주면
그 패턴 안쪽으로 물질들을 포집하고자 하는데
실리콘 웨이퍼가 전도성이 괜찮을까요?
비저항이 0.01옴cm 정도인데
1cm * 3cm 정도 크기 웨이퍼인데
이것도 다른 것들(구리, 은)과 비교해서 너무 않좋아서요 ㅠㅠ
반도체같은곳에 쓰는것 같은데
전기가 잘 안통하는것 같아서요.
- 전기전도성
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
전민구님의 답변
2017-01-24- 2
Si wafer 자체는 전도도가 낮아서 질문자께서 원하시는 형태로는 사용하기 어려울 것 같네요.
보통 wafer 자체의 전도도를 높이기 위해서는 doping을 하는 방법이 있지만,
전기 전도도를 금속 수준으로 높게 하고 싶으시다면 금속 증착/식각 방법을 고려해 보시는 것이 나을 것 같네요. Cu 도금을 고려해 볼 수도 있을 것 같습니다.
반도체 식각 공정에 대해 찾아보시면 감이 오실 겁니다. -
답변
김종훈님의 답변
2018-06-18- 1
실리콘에 이온임플란타를 충분히 때리면 금속수준의 도체를 형성할수 있습니다 실제로 반도체 산업체에서 트랜지스터에 소스, 드레인으로 이온임플란타를 충분히 떄려 도체로 만드는 공정을 사용하고요 물론 local하게 원하는 패턴으로 patterning도 가능합니다.