2017-04-05
org.kosen.entty.User@c6ef81c
신형수(chemsoo)
- 1
안녕하세요.
제목의 물질을 이용하여 공정을 통한 Silicon 포함 박막 증착을 진행하고자 합니다.
물질에 대한 열분해 온도를 알고 싶습니다.
분해 온도 및 출처를 알려 주신다면 실험을 진행하는데 큰 도움이 될것 같습니다.
부탁 드립니다.
물질명 : 1. Hexachlorodisilane(Si2Cl6)
2. Dichlorosilane(SiH2Cl2)
감사 합니다.
제목의 물질을 이용하여 공정을 통한 Silicon 포함 박막 증착을 진행하고자 합니다.
물질에 대한 열분해 온도를 알고 싶습니다.
분해 온도 및 출처를 알려 주신다면 실험을 진행하는데 큰 도움이 될것 같습니다.
부탁 드립니다.
물질명 : 1. Hexachlorodisilane(Si2Cl6)
2. Dichlorosilane(SiH2Cl2)
감사 합니다.
- 열분해 온도
- HCDS
- DCS
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
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답변
조윤환님의 답변
2017-04-05- 1
다음 링크의 문헌을 참고하시기 바랍니다.
http://www.eng.buffalo.edu/~swihart/Reprints/Swihart_JPhysChemA_1998.pdf
여기에서 확인되지 않은 부분은 MSDS의 제9항에서 분해온도를 확인하시면 될겁니다.