2017-05-18
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김성수(zero1521)
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AFM분석시 하얀색반점으로 보이는 부분을 옆으로 비스듬히 보면 높게 치솟아 있는데
이건 어떻게 분석해야되는건가요?
이건 어떻게 분석해야되는건가요?
- AFM
- 분석
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답변 3
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답변
최규석님의 답변
2017-05-18- 1
안녕하세요.
일단 기판위에 아무것도 올리지 않았다면요. 기판위에 이물질(dust)이라고 판단하시면 됩니다.
또는 기판위에 100nm 이하의 하얀색으로 보이는 물질들을 올렸다고 볼 수도 있습니다.
일단은 height mode만 보지 마시고 phase mode를 같이 보시면 좋을것 같습니다.
(모폴로지만 확인하는 height이미지에서는 하얗게 되어있는 부분은 높이가 있다라고
판단하시면 됩니다.)
그러면 판단이 더 쉬워질 것 같습니다. 아울러 분광학적인 데이터를 더 얻으시면 정확하게
판단할 수 있을 것 같습니다. -
답변
이정아님의 답변
2017-05-19- 1
AFM 이미지의 경우 AFM장비로 스캔한 이미지를 분석하는 tool인 XEI(AFM 제조사: Parks system인 경우)가 있습니다.
그 소프트웨어를 활용해 보시면 초록색 또는 붉은 색으로 특정 지역을 라인 스캔을 할 수 있고
그 결과로 표면 상의 높낮이를 비롯한 여러 정보들을 이끌어 낼 수 있습니다. 또 스캔한 이미지 좌우상하에 나타난 dimension을 참고하시면 좀더 정확하게 분석할 수 있을 것입니다. 질문에 첨부된 이미지의 경우 혹시 test로 기판을 스캔한 이미지를 올리신 것이라면 기판 세척도 신경써야 할 것 같고 박막 증착이라든지 나노물질을 대상으로 스캔한 결과와 함께 비교해 보는 것도 재미있을 것 같습니다.
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답변
변성천님의 답변
2017-05-20- 1
AFM는 기본적으로 높낮이를 측정할 수 있는 현미경입니다. 그래서 보통 보는 2D이미지를 보면 X, Y축이 있고 Z축에 대해서는 색깔로 표현하고 있습니다. 이 이미지상에서 어느 기준점보다 상대적으로 높으면 밝게 표현하고, 낮으면 어둡게 표현합니다. 그래서, 이 데이터를 보면 평평한 기판위에 무언가 올라간 것 처럼보입니다. 일반적으로 X축과 Y축은 조절하지 않습니다. 하지만, Z축은 일반적으로 같은 종류에 대해서 일정하게 맞추거나 혹은 이미지가 잘 보이도록 Z축을 조절하는 경우가 있습니다. 파크시스템스에서는 Z축을 최대값과 최소값으로 레인지를 조절하는 타입이고, DI(현재 브루커)는 측정당시에 Z값을 측정해서 일정한 값으로 측정합니다. 이미지를 보면 아마도 브루커 장비에서 측정한 데이터 같습니다.
결론적으로 말하면, 이미지를 보면 잘 찍혀있습니다. AFM이 이미지 왜곡이 심한 장비이지만, 저 이미지만 보면 정확히 표면을 표현한 것 같습니다. 이 이미지를 가지고 실험한 데이터를 고려해 보아야 할것 같습니다..
부언하여 설명하자면, AFM 단점중의 하나가 측정 속도가 느리다는 것입니다. 그래서 보통은 샘플 표면이 균일할 것으로 예상하고 한 부분찍습니다. 만약 그렇지 않다면 다른 결과가 나오겠죠. 그리고, 주사전자현미경으로 보면 아무것도 없는데 AFM에서 왜 이렇게 나오나는 질문도 있습니다. 주사전자현미경은 높낮이가 낮은 것은 측정이 되지 않아 깨끗하게 나오는 경향이 있습니다. 하지만, AFM은 0.5nm 이상의 단차만 있어도 측정되기에 표면이 깨끗하게 안 나올 수 있습니다.
이미지를 보면 솟아 있는 모양이 높은 것으로 보아 주사전자현미경을 찍어보면 이해가 될 것같습니다. 샘플을 세워서 틸트기능을 이용해서 보면 확실히 이해될 것 같습니다.