2017-08-01
org.kosen.entty.User@771a754b
정동진(jdj1028)
- 1
Al2O3(Alumina) substrate의 표면를 습식 에칭 방법을 이용하여 cleaning을 하고 싶습니다.
일반적으로 워낙 안정적인 구조라 표면 처리하기가 쉽지 않을 것으로 알고 있는데 알루미나를 표면 처리할 수 있는 etchant로는 어떠한 솔루션이 있을지요?
해당 substrate의 알루미나 순도는 96%이며 1500도 정도로 열처리된 기판 입니다.
에칭 솔루션이나 혹은 상용 제품이 있으면 소개 받고 싶습니다.
그럼 수고들 하세요~
일반적으로 워낙 안정적인 구조라 표면 처리하기가 쉽지 않을 것으로 알고 있는데 알루미나를 표면 처리할 수 있는 etchant로는 어떠한 솔루션이 있을지요?
해당 substrate의 알루미나 순도는 96%이며 1500도 정도로 열처리된 기판 입니다.
에칭 솔루션이나 혹은 상용 제품이 있으면 소개 받고 싶습니다.
그럼 수고들 하세요~
- Al2O3
- etching
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
강광철님의 답변
2017-08-14- 2
삼성전기나 제이씨씨같은곳에서는 혼합산을 가하여 에칭을 합나다. 플루오린산+ 황산
또는 다른 세종류를 섞어서요..