2018-08-24
org.kosen.entty.User@43595b72
김형균(joonhee6)
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IGZO (산화물) Oxied 스퍼터 증착시 무라(mura)가 발생하는 원인이 무엇인가요?
마그넷의 갭차이로 인해 발생된다는거 외에는 발생원인이 없을까요?
마그넷의 갭차이로 인해 발생된다는거 외에는 발생원인이 없을까요?
- 스퍼터
- 증착
- sputter
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답변 1
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답변
안강우님의 답변
2018-09-04- 0
mura라는 용어 찾아보니 LCD 패널쪽에서 말하는 불량용어로는 두께불균일로 인한 색수차 현상 같은데 맞는지요?
스퍼터증착 특징상 소스로부터 거리가 멀어질수록 스퍼팅되는 영역이 커지면서 증착위치에 따른 층착률도 많이 다르게 되는데 보통 이런 문제들 때문에 소스와 거리를 잘 조절하거나 플라즈마 파워를 조절해 증착속도및 컨디션을 바꿔서 최적의 조건을 찾아야합니다.
증착면적이 좁다면 별 문제가 아니겠지만 증착 면적이 크시다면 조건찾는게 까다로우실듯 싶네요.