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지식나눔

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ITO glass 온도에따른 특성변화 관련해서 여쭤봅니다

2018-10-18 org.kosen.entty.User@10d6d640 김동욱(caligna)
  • 2
ito glass위에 절연층 fabrication하면서 annealing을 하는데요
300도에서 500도 까지 올려도 특성에 변화 없나요?
resistivity나 surface property같은것들이요
물론 fabrication이 끝나면 식혀서 측정합니다만
무리없나요?
  • 반도체
  • 산화물
  • 무기화학
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답변 2
  • 답변

    정연학님의 답변

    2018-10-18
    • 4

    첨부파일

    약 150 K 이하에서는 온도가 낮아질수록 저항이 증가한다.
    쿨롱 상호작용이 주된 요인이며, 열처리 온도가 증가할수록 쿨롱 상호작용이 줄어든다.

     
    답변수정
    약 150 K 이하에서는 온도가 낮아질수록 저항이 증가한다.
    쿨롱 상호작용이 주된 요인이며, 열처리 온도가 증가할수록 쿨롱 상호작용이 줄어든다.

     
    김동욱(caligna) 2018-10-19

    자료 감사합니다
    큰 도움이 되었습니다

    정연학(jyh164) 2018-10-25

    Application에 따라 ITO 특성이 달라지기 때문에 범위를 한정해서 검색하면 원하는 특성을 찾을수 있을 겁니다.

  • 답변

    신동협님의 답변

    2018-10-19
    • 1
    ITO와 같은 산화물 투명전극은 열처리가 되면 일반적으로 박막의 결정성이 증가하여서 carrier mobility가 향상되고, 이에 따라서 전기전도도가 좋아집니다. 하지만 ITO 같은 산화물 투명전극은 열처리 분위기 즉 공기 중의 수분 등에 따라서 열처리 중 산소 vacancy 등의 박막 내 결함의 특성이 바뀌면서 이 또한 전기전도도에 영향을 줍니다. 그래서 FTO와 달리 ITO는 열적 안정성이 떨어져서 매우 높은 온도 즉 기재하신 500도에서는 전기전도도가 감소할 수도 있습니다.
    답변수정
    ITO와 같은 산화물 투명전극은 열처리가 되면 일반적으로 박막의 결정성이 증가하여서 carrier mobility가 향상되고, 이에 따라서 전기전도도가 좋아집니다. 하지만 ITO 같은 산화물 투명전극은 열처리 분위기 즉 공기 중의 수분 등에 따라서 열처리 중 산소 vacancy 등의 박막 내 결함의 특성이 바뀌면서 이 또한 전기전도도에 영향을 줍니다. 그래서 FTO와 달리 ITO는 열적 안정성이 떨어져서 매우 높은 온도 즉 기재하신 500도에서는 전기전도도가 감소할 수도 있습니다.
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