지식나눔

MIM구조의 capacitor 제작에서 electrode 물질에 따라 절연체 특성 변화가 있나요?

유전체 특성을 연구하고 있는데요
전극을 metal전극을 사용합니다
현재 gold를 사용중인데 aluminum을 써도
유전체 특성이랑은 무관하나요?
임피던스나 current density 요 


아 botom gate 는  ITO를 사용중인데 p silicon  사용해도 같나요?
  • 반도체
  • 전자
  • 전극
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답변 1
  • 답변

    김종수님의 답변

    어떤 물질간의 계면접합이냐에 따라 임피던스와 current density는 천차만별로 달라집니다. 그 정도를 예측하기 위해선 band theory에 대해 어느정도 이해가 필요하고 금속의 work function, 유전체의 HOMO, LUMO 및 fermi level을 알면 대략적으로 계산도 가능합니다 
    보통 높은 current density를 위해 p-type 유전체에는 gold를 n-type 유전체에는 Al을 사용합니다.
    즉 유전체 종류마다 써야할 금속의 종류도 다릅니다.
    ITO는 N-TYPE 유전체에 많이 사용하는 것으로 알고 있습니다.
    어떤 물질간의 계면접합이냐에 따라 임피던스와 current density는 천차만별로 달라집니다. 그 정도를 예측하기 위해선 band theory에 대해 어느정도 이해가 필요하고 금속의 work function, 유전체의 HOMO, LUMO 및 fermi level을 알면 대략적으로 계산도 가능합니다 
    보통 높은 current density를 위해 p-type 유전체에는 gold를 n-type 유전체에는 Al을 사용합니다.
    즉 유전체 종류마다 써야할 금속의 종류도 다릅니다.
    ITO는 N-TYPE 유전체에 많이 사용하는 것으로 알고 있습니다.
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