2018-12-23
org.kosen.entty.User@7af35db9
김두진(doo317)
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전자과 졸업학기 학부생입니다. 방학이 시작해서 배웠던 과목들 복습중인 상황에서 IC프로세스 과목에서 high-k 부분을 보고있었습니다.
high-k 물질사용하면 fringing effect가 발생한다고 했는데,
1. fringing effect 가 무엇이고,
2. effect가 발생하면 게이트 컨트롤을 저해하는 이유에 대해서 알려주세요~
high-k 물질사용하면 fringing effect가 발생한다고 했는데,
1. fringing effect 가 무엇이고,
2. effect가 발생하면 게이트 컨트롤을 저해하는 이유에 대해서 알려주세요~
- 반도체
- high-k
- fringing
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김종훈님의 답변
2018-12-25- 2
첨부 사진에 보시는 것 처럼 절연체를 통과하는 전기장은 plate에 수직방향이나 edge쪽은 휘어서 형성되는데 이 부분을 fringing effect라고 합니다. 게이트 컨트롤을 위한 계산에는 ideal하게 capacitance area에 수직한 전기장만을 고려하므로 위와 같은 fringing effect가 발생하면 오차가 많이 발생하겠죠
high k 물질이 유독 fringing effect가 심한 이유가 있나요?