2019-01-08
org.kosen.entty.User@3b1c1ef8
정연학(jyh164)
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코팅된 분말의 두께를 측정하는 방법을 알고 싶습니다.
분말 사이즈는 20~30nm급이고 코팅된 두께는 4~5nm 정도라고 하는데
실제 측정 할려면 어떤 방법이 좋을까요?
분말 사이즈는 20~30nm급이고 코팅된 두께는 4~5nm 정도라고 하는데
실제 측정 할려면 어떤 방법이 좋을까요?
- 분말
- 코팅
- 두께
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답변 5
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답변
이창석님의 답변
2019-01-08- 5
수 um 수준의 두께 측정의 경우는 알파스텝 또는 SEM 등을 통해 간단하게 측정할 수 있었습니다.
하지만 말씀하신대로 4~5nm 실제 두께 측정을 위해서는 X-TEM (Cross-sectional Transmission Electron Microscope)를 통해 확인하는 것이 가장 정확할것 같습니다.
Ellipsometer, XRR 또는 depth profile을 통해 두께 수준을 간접적으로 확인할 수 있지만, dense한 박막이 아닌 분말로 구성된 박막이라면 X-TEM을 추천드립니다. -
답변
김병관님의 답변
2019-01-11- 3
분말 사이즈가 20~30nm이고 코팅된 두께가 4~5nm 정도라고 하시니 TEM으로 측정 가능할 것 같습니다. 나노입자 하나를 잘라서 보는게 정확하기는 하지만 어려우신 경우에는 EDS mapping이나 line scan으로 코팅된 물질의 원소와 분말의 원소 차이를 이용하여 구분할 수도 있습니다.
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권오경님의 답변
2019-01-10- 2
"光干涉式 膜厚計"를 사용하시면 좋을것 같습니다.
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답변
안강우님의 답변
2019-01-11- 2
박막이 아니라 나노 입자라면 XRR 은 어렵곘네요. 코어쉘 구조의 입자인거 같은데 혹시 입자와 코딩된 물질의 밀도차이가 좀 나는 지요? 입자크기가 그리 크지 않아서 SEM으로도 충분히 코어와 shell 부분이 구분이 될것 같습니다.
안강우(ariel797) 2019-05-03
구글에서 SEM 이미지들 보시면 안쪽까지 보이는 이미지들이 많이 보이실겁니다.
링크는 코어쉘 SEM 이미지들 입니다. 참조하시길 바랍니다.
https://www.google.com/search?newwindow=1&biw=1280&bih=921&tbm=isch&sa=1&ei=j6XLXO2MO4H_wAP55r_ADQ&q=core-shell+nanoparticles+sem&oq=core-shell+nanoparticles+sem&gs_l=img.3..0i30.20103.21071..21278...0.0..0.87.341.4......1....1..gws-wiz-img.......0i8i30.RNmlI2lqBnw
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김아영님의 답변
2019-01-11- 1
HR(High Resolution)-SEM 으로 볼수 있을거 같아요.
장비 사용 가능한곳에 직접 여쭤보시면 어떨까요?
https://www.zeus.go.kr : 장비검색 포탈.
위사이트 가셔서 SEM 장비중 해상도 높은 장비있는곳에 지금 샘플에 대해서 알려주시고 가능한지 여쭤보면 바로 확인 가능하실듯 싶어요
좋은 의견 감사합니다.