2019-06-17
org.kosen.entty.User@160bd7ce
변성천(rg1000)
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EPMA 데이터에 대해 문의합니다.
데이터를 보면 sio2, Tio2 등으로 나옵니다.
그런데, 데이터를 추출하는 검출기인 WDS에서는 원소로 검출합니다.
이렇게 Si, o, Ti 등의 원소로 분석된 데이터를 sio2, Tio2 화합물 형태로
나타내는 것이 얼마나 정확한 것인지 궁금합니다.
EDS 혹은 WDS은 경원소 측정시 오차를 무시할 수 없다고 알고 있습니다.
그러면, 이런 오차에 의해 화합물의 정량 데이터는 더 오차가 발생하지 않나요?
데이터를 보면 sio2, Tio2 등으로 나옵니다.
그런데, 데이터를 추출하는 검출기인 WDS에서는 원소로 검출합니다.
이렇게 Si, o, Ti 등의 원소로 분석된 데이터를 sio2, Tio2 화합물 형태로
나타내는 것이 얼마나 정확한 것인지 궁금합니다.
EDS 혹은 WDS은 경원소 측정시 오차를 무시할 수 없다고 알고 있습니다.
그러면, 이런 오차에 의해 화합물의 정량 데이터는 더 오차가 발생하지 않나요?
- EPMA
- WDS
- 정량
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
정연학님의 답변
2019-06-17- 4
WDS의 에너지 분해능은 수 10eV 정도이기 때문에, EDS와 같이 함유원소의 스펙트럼이 중첩(overlap)될 가능성은 낮지만 특정부위를 측정하므로 여러군데를 측정하여 오차를 줄일 필요가 있습니다.
산화물인 경우 WD-XRF를 이용한 무기 산화화합물, 금속산화물의 성분의 함량을 정성/정량 분석하는 것이 더 정확할 것으로 보여집니다.
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답변
강광철님의 답변
2019-06-28- 1
epma로 분석시 어느부분을 측정하느냐에따라 함량은 달라지고 정성분석으로 이용가능하고 정확한 원소 분석은 ICP mass등으로 정량하는것이 더 나을것 같아요. 그리고 계산하심..
WDS를 이용하여 원소 분석을 하고나서 화합물의 함량을 어떻게 계산하는지요? 원소 함량의 오차때문에 문제가 되지 않나요?