2019-09-19
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김동욱(caligna)
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용액공정으로 알루미늄 옥사이드 AlOx 층을 만들고있는대요
amorphous상태이인데 sem으로 표면관찰하려면 스펙이 어느정도 되야 할까요?
또한 절연체이다보니 샘플링을 이것저것 해봐야할거같은대
금을 pvd로 얇게증착하려합니다 두께가 어느정도 되어야 깨끗하게 몰수있을까요
amorphous상태이인데 sem으로 표면관찰하려면 스펙이 어느정도 되야 할까요?
또한 절연체이다보니 샘플링을 이것저것 해봐야할거같은대
금을 pvd로 얇게증착하려합니다 두께가 어느정도 되어야 깨끗하게 몰수있을까요
- 금속산화물
- sem
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 5
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답변
박형식님의 답변
2019-09-20- 4
위 글을 읽고 아래와 같이 답변 드립니다.
용액공정으로 알루미늄 옥사이드 AlOx 층을 만들고있는대요
amorphous상태이인데 sem으로 표면관찰하려면 스펙이 어느정도 되야 할까요?
--> 스펙을 이야기 하는 것으로 봐서 분석하기 위한 시료 스펙을 이야기 하는 거 같은데,
옥사이트 계열이고 분석하려는 시료의 전기적 특성이 어떤지 확인하는 것이 좋겠고, 여의치
않으면 추정해서 진행하는 것이 좋겠습니다.
(추천: 목포대 공동실험실습관 및 DML 분석 연구소 두 곳 추천드립니다.)
--> FE-SEM 분석 담당자분에게 측정할 시료의 배율을 X10,000, X30,000, X 50,000, X100,000 등과
같이 배율을 이야기하시고 최대로 Zoom-in하여 볼 수 있으면 좋겠네요.
또한 절연체이다보니 샘플링을 이것저것 해봐야할거같은대
금을 pvd로 얇게증착하려합니다 두께가 어느정도 되어야 깨끗하게 몰수있을까요
--> 샘플링 작업은 분석 담당자 선생님들이 도와주실 거고, 무엇보다 중요한 것은 어떻게 분석할 지가 중요합니다. 단순히 박막재료에 대해서 확인할 지 혹은 재료 확인과 더불어 디바이스 적용과 이어지는지 여부도 생각해서 분석하시면 좋겠습니다. (시료 상태가 절연체나 혹은 도핑이 된 물질이냐에 따라 달라지지만, 대게 3 nm로 증착할 거로 사료됩니다. 그게 어렵다면 다른 연구그룹에서 분석했던 논문을 꼼꼼히 읽어보시고 그것을 담당자 선생님께 보여드리는 것도 좋은 방법입니다.)
만약 디바이스가 연계된 것이면 디바이스와 같이 해 보시는 것이 좋겠습니다. 시료를 cutting하실 때 반드시 유의할 것은 시료가 증착된 부분에 물리적인 힘이 가해지지 않도록 하는 게 무엇보다 중요합니다. 만일 물리적인 힘이 가해져 시료의 손상이 가면 사실상 분석이 불가하며, 미리 잘라놓은 시료를 이용해 증착하시면 좋겠습니다. 아울러 자를 때 마스크는 필히 착용바랍니다. 기판재질이 유리나 혹은 실리콘 웨이퍼일 경우, 순간적인 실수로 인해 입 안으로 들어갈 수 있거나 시료를 앞에두고 침이 튀어 시료에 묻게 되면 사용을 할 수 없으니 이 점 또한 유념 바랍니다. 시료를 자르고 남은 소위 말해 부스러기는 잘 종이에 싸서 셀로판 테이프로 봉인하시고 마킹까지 하시면, 이를 치워주시는 분에게 덜 위험하지 않을까 생각합니다. 그것은 공부와 다르게 타인을 배려하는 차원이구요. 어째든 좋은 결과 얻기를 멀리서 기원합니다.
박형식(ssss04) 2019-09-20이 세상에 누추한 질문은 없습니다. 자신이 잘 모르는 것을 질문하여 지식을 얻는 것은 매우 훌륭하다고 생각합니다. 좋은 연구 성과 바랍니다.
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답변
신동협님의 답변
2019-09-21- 3
추가 조언을 드립니다.
알루미나와 같은 절연막은 SEM 측정시 charge-up이 되어서
환하게 빛이 납니다. 이를 억제하기 위해서 위에서 언급한 것과 같이
전도성 물질인 금이나 오스뮴을 위에 수나노 아주 조금 도포하게 됩니다.
혹은 측정하려는 시료 주변에 전도성 카본 혹은 구리 테이프로 둘러싸고,
SEM 측정 가속전압을 최소화하고 예를들면 1kV~5kV로 줄이고, 샘플과 렌즈 사이 거리
(working distance)를 좁히면 charging이 더욱 억제됩니다. 이럴 경우 위의 저 전도성 물질 도표가 없이도 표면을 관찰할 수 있습니다. 더 궁금하신 점이 있으시면 말씀해주세요.
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답변
강광철님의 답변
2019-09-20- 1
어떤 스펙을 말하는지 잘모르겠네요.
금은 전기를 통하게 하기위해 얇게만 증탁시켜서 여러곳 보시면 가능할것 같네요. -
답변
김아영님의 답변
2019-12-10- 0
SEM 측정시 charging 효과가 나올수가 있어서 보통 코팅한다고 들었어요.
또는 가속 전압을 낮추거나요. -
답변
안강우님의 답변
2019-12-10- 0
보시려는 표면이 어느정도까지 해상도냐에 따라 달라질거 같은데 표면의 거칠기를 잘 보시려면 AFM이 어떨까 싶습니다.
누추한질문에 귀한답변 감사합니다 디테일하게설명해주셔서 감사해요!!