2019-09-23
org.kosen.entty.User@212e4cb7
김형준(khj1297)
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안녕하세요
TLM method를 이용하여 트랜지스터의 전극과 채널층 사이의 컨택저항을 측정하고 있는데
y 절편 값이 계속해서 - 값이 나옵니다.
혹시 보정하는 방법이 있는건지 어떻게 계산하는것인지 도움을 주실수 있는 분 있으실까요?
그리고 보통 transistor의 transfer graph와 output graph 중에 어떤것을 이용하여 contact 저항을 구하는 편인가요?
어떤 곳에서는 transfer를 통하여 total 저항값을 추출하고
어느곳에서는 output을 통하여 저항값을 추출하여
둘다 가능한것인지 상관이 없는것인지 해서 문의드립니다.
TLM method를 이용하여 트랜지스터의 전극과 채널층 사이의 컨택저항을 측정하고 있는데
y 절편 값이 계속해서 - 값이 나옵니다.
혹시 보정하는 방법이 있는건지 어떻게 계산하는것인지 도움을 주실수 있는 분 있으실까요?
그리고 보통 transistor의 transfer graph와 output graph 중에 어떤것을 이용하여 contact 저항을 구하는 편인가요?
어떤 곳에서는 transfer를 통하여 total 저항값을 추출하고
어느곳에서는 output을 통하여 저항값을 추출하여
둘다 가능한것인지 상관이 없는것인지 해서 문의드립니다.
- 컨택저항
- TLM
- 유기박막
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답변 1
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답변
김병관님의 답변
2019-10-14- 1
y절편 값이 -로 나오는 정확한 이유에 대해서는 모르겠으나 output curve에서 I-V plot을 보여주므로 일정한 V_G에서 V_SD의 값이 0 근처일 때의 기울기에서 저항값을 얻을 수 있기는 합니다.
그래도 아래 정보와 같이 거리마다의 소자를 측정해서 fitting을 해야할텐데, y절편 값이 -로 나오게 되면 뭔가 금속 전극과 측정하고자하는 물질이 반응이 있거나 접촉계면에 무슨 이유가 있지 않을까 싶습니다.
http://blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=namgoocha&logNo=220148839850
http://tuttle.merc.iastate.edu/ee432/topics/metals/tlm_measurements.pdf