2020-03-30
org.kosen.entty.User@7a08d700
곽계영(atomkwak)
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실험실에서 간단하게 Cu Oxide 막을 제거하고자 합니다.
박막으로 형성한 Cu layer에서 native oxide 막을 제거하고 순수 Cu layer를 만들어 실험하고자 하는데 wet 공정으로 사용가능한 용액이 있는지요?
예를들어, 1) BOE 용액으로 수초 담궈 제거 가능한지?
2) 황산 수용액이나 염산 수용액으로 제거 가능한지 궁금합니다.
다른 간단한 방법 있으면 조언 부탁드립니다.
감사합니다.
박막으로 형성한 Cu layer에서 native oxide 막을 제거하고 순수 Cu layer를 만들어 실험하고자 하는데 wet 공정으로 사용가능한 용액이 있는지요?
예를들어, 1) BOE 용액으로 수초 담궈 제거 가능한지?
2) 황산 수용액이나 염산 수용액으로 제거 가능한지 궁금합니다.
다른 간단한 방법 있으면 조언 부탁드립니다.
감사합니다.
- Cu
- Oxide
- Removal
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 5
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답변
정연학님의 답변
2020-03-31- 2
질산 & 염산 제거 가능하나 Cu 층까지 제거가 되므로 Cu Oxide 두께가 어느정도 인지 확인하고 제거해야 할듯 합니다.
0.1M HCL에서 40~50℃ 온수에 초음파 처리
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답변
정연학님의 답변
2020-03-31- 2
Buffered Oxide Etch(BOE)
NH4F와 HF가 혼합된 화학물질로 SiO2 에칭에 사용됩니다.
에팅시에 HF는 산화막 에칭에 직접관여하며 NH4F는 에칭 속도를 조정하여 Uniformity를 좋게하는 역할을 합니다.
웨이퍼 표면의 유기물 제거 등으로 사용되며 금속 에팅 용액의 일부가 되기도 합니다. -
답변
강태구님의 답변
2020-03-31- 2
구리 산화막의 경우는 아니지만 CVD 에 의한 Zn 피막 공정 실험한 적이 있어 몇 자 적습니다. 구리 산화막 같은 경우 황산을 쓰는 경우 염산을 쓰는 경우가 차이가 있는데 둘중에 염산의 산화막 제거 효과가 더 뛰어납니다. 염산은 구리를 추가로 부식시키지 않지만 황산은 산화막외에 구리 금속 자체를 부식시키며 모든 부식된 구리가 녹아들어가면 괜찮겠지만 구리금속이 일부가 산화막 상태 자체로 부식될 수 있으므로 염산보다 더 비효율적입니다. 황산이나 염산 말고 에탄올이 한번 더 산화된 형태의 에탄알을 쓰는 경우도 있다고 압니다.. 에탄알이 아세트산으로 산화되면서 산화구리를 구리로 환원시키기 떄문입니다. 조금이나마 도움이 되셨길 바랍니다.
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답변
최규석님의 답변
2020-04-07- 2
2번에 산염기 중화반응으로 진행하면 될것같음, 염산을 묽혀서 사용해야 될 것 같음.
CuO + 2HCl → CuCl2 + H2O
녹색 -
답변
김아영님의 답변
2020-06-16- 1
플라즈마 에칭을 써보시는건 어떠세요?
물질에 따라 조건이 잡힌 장비로는 원하는 두께로 충분히 처리가능할거 같아요.