2020-09-29
org.kosen.entty.User@7c6fe986
김종훈(vivace)
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Epitaxial성장이란 물질을 원하는 결정 방향으로 성장시키는 성장법으로 알고있습니다.
궁금한 것이.. 구체적으로 어떤 방법으로 원하는 결정 방향으로 성장시키는지가 궁금합니다.
Cu(100), (101) ,(102) 뭐 이런거요
예로 기상 Epitaxy는 CVD나 ALD를 할때 GAS를 기판 기준 특정방향으로 FLOW 시키면서 증착을 하는건지?
액상 Epitaxy도 마찬가지로 전해질 내 전기 도금할때 액상 전해질을 특정 방향으로 flow시키면서 도금을 하는건지?
상상으로 써본 것이니 잘 아시는 분은 확인 부탁드립니다.
추천인 : kjskumal
궁금한 것이.. 구체적으로 어떤 방법으로 원하는 결정 방향으로 성장시키는지가 궁금합니다.
Cu(100), (101) ,(102) 뭐 이런거요
예로 기상 Epitaxy는 CVD나 ALD를 할때 GAS를 기판 기준 특정방향으로 FLOW 시키면서 증착을 하는건지?
액상 Epitaxy도 마찬가지로 전해질 내 전기 도금할때 액상 전해질을 특정 방향으로 flow시키면서 도금을 하는건지?
상상으로 써본 것이니 잘 아시는 분은 확인 부탁드립니다.
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- 재료
- 격자
- 증착
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김주남님의 답변
2020-11-03- 0
에피탁샬(에피)의 기본적 개념은 기반의 결정구조의 정보(원자간 거리, 전자상태등)가 그 위로 증착되는 막에 그대로 전달되는 성질을 이용하는 것입니다. CVD,ALD모두 잘 보면 결정이 성장할 때 모두 원자가 순서대로 배열되는 것이기에 원자 하나하나가 배치될때 레고를 끼워 맞추듯한 느낌이 됩니다. Cu 경우에 결정면에 따라 원자 간 거리가 다르게 보입니다. 그 거리와 기반의 원자간 거리(엄밀히는 결합에 참여하는 원자간의 거리)가 비슷한 결정구조가 우선적으로 성장하게 되는 것이지요. 그리고 그것은 원자단위로 제어하는 CVD나 ALD에서 그 영향이 더 뚜렷하게 나타납니다.