2021-09-10
org.kosen.entty.User@7d9ffb42
이종민(kjist98)
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요즘 반도체 시장의 장악력 확보를 위해 미국(인텔) 대만 (TSMC) , 한국 (삼성) 의 공격적인 투자가 연일 화두가 되고 있습니다.
특히 EUV 공정 기술이 반도체 기술의 선진화를 주도하고 있는데요, 그 중 하나인 pellicle의 적용이 궁금합니다.
대만에서는 자체적으로 Pellicle 제작 기술을 개발하여 실제 라인에 적용하고 있으나 EUV 설비 제조사나 삼성은 아직 자체개발
에는 성공하지 못하고 있으며 주변 국가/연구소에 용역을 의뢰하여 개발을 이원화 하고 있는 것으로 알고 있습니다.
EUC Pellicle 기술 성공의 핵심 Key는 무엇일까요 ? 열 차단율? 광 투과력의 극대화?
특히 EUV 공정 기술이 반도체 기술의 선진화를 주도하고 있는데요, 그 중 하나인 pellicle의 적용이 궁금합니다.
대만에서는 자체적으로 Pellicle 제작 기술을 개발하여 실제 라인에 적용하고 있으나 EUV 설비 제조사나 삼성은 아직 자체개발
에는 성공하지 못하고 있으며 주변 국가/연구소에 용역을 의뢰하여 개발을 이원화 하고 있는 것으로 알고 있습니다.
EUC Pellicle 기술 성공의 핵심 Key는 무엇일까요 ? 열 차단율? 광 투과력의 극대화?
- 반도체
- EUV
- pellicle
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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